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• 設備簡介

感應區熔及晶體生長裝置主要包含兩種功能，一種用于材料的熔化提純，一種用于材料的定向凝固。
二、感應區熔及晶體生長裝置MTQZ-15-60 真空爐主要技術參數：
1、*高溫度：1650℃
2、線圈升降行程：150毫米，采用伺服電機驅動，升降速度可調節，分為快速和慢速
3、坩堝升降行程：150毫米，采用伺服電機驅動，升降速度可調節，分為快速和慢速
4、石墨坩堝尺寸：φ40*60㎜
5、感應電源振蕩功率：15KW，電源電壓380V

1. 采用鎢錸熱偶監測溫度，通過電流調節溫度
2. 可抽真空與充保護氣氛

• 感應區熔及晶體生長裝置MTQZ-15-60 真空爐結構簡介

感應區熔及晶體生長裝置主要由感應加熱裝置，坩堝及保溫裝置、密封石英管裝置、區熔裝置、定向凝固裝置、真空裝置、保護氣氛裝置、測溫裝置、支架及操作臺裝置與可視化控制系統組成。

1. 感應加熱裝置：由一臺振蕩功率15kW，振蕩頻率30-80kHZ的高頻電源提供感應加熱
2. 坩堝及保溫裝置：由一只石墨坩堝，一種石英陶瓷保溫套、氮化硼保溫底座和保溫蓋組成，保證傳輸到石英管的溫度低于800℃；保溫蓋開有觀察孔，可觀察到熔液狀態。
3. 密封石英管裝置：由一根石英管，兩套密封法蘭組成，采用硅膠密封圈密封，局部帶水冷，密封法蘭上帶各種接口，方便其他裝置接入。
4. 區熔裝置：由伺服電機、減速機、線性模組和連接塊組成，帶動線圈沿著石英管上下移動，速度可調節，實現區熔目的。
5. 定向凝固裝置：從石英管底部密封法蘭處引入，帶動密封結構，留有熱偶接口，由步進電機、減速機、線性模組和連接塊帶動坩堝實現上下升降目的，實現定向凝固功能。
6. 保護氣氛裝置：石英管底部密封法蘭留有充氣接口，帶閥門和進氣接口，石英管頂部密封法蘭留有出氣接口與閥門，并裝有安全閥，防止氣壓過高損壞元件
7. 測溫裝置：從定向凝固移動管中接入，可直接跟石墨坩堝接觸，測量石墨坩堝溫度，并能根據溫度手動調節高頻電源的輸出功率。
8. 支架及操作臺裝置：采用型材與板材拼接而成，人性化設計，操作方便，占地空間小。
9. 可視化控制系統：采用PLC+觸摸屏控制整套系統，實現可視化操作，操作直觀方便。還可實時記錄各種實驗數據并下載到PC端，方便用戶調整工藝數據。