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參考價	￥200
訂貨量	1

產品簡介

產地類別	進口

中央精機CHUO 線性馬達 AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15
應用
電子、半導體制造裝置（EB裝置等）
新一代半導體設備的研究開發
其他納米科技研究

詳細介紹

主要特征
材料本身有的高硬度、耐磨性、耐酸性、耐熱性、低熱膨脹系數等特性，能適合在特殊環境下使用保證高精度、可靠性。
Al2O3的復合材料能在真空、非磁性條件下使用
導軌部件使用Si3N4材料制成，具有很好的平滑性能，可以省去使用潤滑油，避免了污染真空環境，影響真空度
適用zui高真空度10－5Pa的環境

應用
電子、半導體制造裝置（EB裝置等）
新一代半導體設備的研究開發
其他納米科技研究

線性馬達規格

參數	AME-15	AME-25	AMH-13	AMH-15	AMH-25
移動量	0～15mm	0～25mm	0～13mm	0～15mm	0～25mm
分辨率	0.0001mm		-
位置精度	0.01mm		-
zui大速度	0.07mm/min		1mm/min
推力	98N（10kgf）		-
工作溫度	20±10℃
限位傳感器	原點、zui大、zui小		-
線長	2m
重量	0.29Kg	0.3Kg	0.13Kg		0.14Kg

中央精機CHUO 線性馬達 AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15

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中央精機CHUO 線性馬達 AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15

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