BURKERT8741型氣體流量控制器借助 MEMS 傳感器進行氣體質量流量的測量（用作 MFM）或者調節（作為 MFC）工作。傳感器直接接觸氣體，因而可以在幾百毫秒之內極其快速地做出反應。此外，測量工作不受壓力或者溫度波動的影響。

BURKERT8741型氣體流量控制器必要時可以設置為MFC或者MFM，且規定用于büS或者CANopen網絡中。büS 網絡技術CAN物理層為基礎，Bürkert特別為涉及多個控制回路（通過工業以太網或者其他現場總線加以驅動）的應用而對其進行了研發。型號為 ME2X 的系統控制單元(SCU, System Control Unit)將客戶的以太網通信傳輸到所有者的büS中，并驅動所有相連的電子設備。設備之間的通信可以在 büS 和 CANopen 之間切換。借此，BURKERT8741型氣體流量控制器也可以集成到現有的 CANopen 基礎設施中。借助MEMS傳感器進行氣體質量流量的測量（用作 MFM）或者調節（作為 MFC）工作。傳感器直接接觸氣體，因而可以在幾百毫秒之內極其快速地做出反應。此外，測量工作不受壓力或者溫度波動的影響。可以對MFC/MFM進行校準，使其用于測量/調節兩種不同的氣體，用戶可以在這兩種氣體之間進行切換。

技術數據：
控制范圍：1:50
建立時間：<3秒
重復性：±0.1％F.S.
操作氣體：中性或腐蝕性氣體
滿量程范圍1：5 ... 15000 mlN / min2）
校準氣體：使用轉換因子操作氣體或空氣
大工作壓力：10 bar（145 psi），取決于閥的孔口
環境溫度：-10 ... + 50°C，其他要求
介質溫度：-10 ... + 70°C（氧氣為-10 ... + 60°C）
建立時間：<3秒準確度：±1.5％o.R. ±0.3％F.S.（1分鐘預熱時間后）

BURKERT8741型氣體流量控制主要特點：
采用 MEMS 技術直接測量流量
測量和重復精度高
反應時間非常之短
現場總線通信基于 CANopen

測量原理：
用于工藝技術中直接測量氣體的質量流量。在體積流量計的情況下，有必要測量溫度，壓力或者是密度，因為氣體會根據壓力改變它們的密度或者它們的體積。另一方面，質量流量的測量與壓力和溫度。數字式質量流量計8006型使用基于熱量原理的直列式傳感器（參見直接位于主通道的頁面上的說明）由于傳感器直接位于主通道中，因此MFM的響應時間非常短這種主流測量的另一個好處是它對污染不那么敏感，實際流量是作為模擬輸出信號給出的，或者可以通過現場總線通信讀取，8006型可以選擇校準兩種不同的氣體，用戶是能夠在這兩種氣體之間切換。根據客戶的具體情況選擇與氣體接觸的部件的材料，以便可以使用完整范圍的標準過程氣體來操作裝置。