HLCVD六溫區(qū)真空管式爐有效尺寸直徑50*溫區(qū)200*200*200*200*200*200
長期使用溫度200-1100℃溫度1200℃溫控30段智能溫控， 控制 自動升溫，自動降溫，
殼體設(shè)計電爐殼體采用雙層強(qiáng)制風(fēng)冷構(gòu)造，使電爐在溫度工作時爐殼外部溫度接近室溫
可通氣體所有惰性氣體 混合性氣體 氮?dú)? 氧氣 水蒸氣等……
升溫速率≤0~ 20.C/ min

HLCVD六溫區(qū)真空管式爐直徑50*溫區(qū)200*200*200*200*200*200長期使用溫度200-1100℃溫度1200℃溫控30段智能溫控， 控制 自動升溫，自動降溫，殼體設(shè)計電爐殼體采用雙層強(qiáng)制風(fēng)冷構(gòu)造，使電爐在溫度工作時爐殼外部溫度接近室溫可通氣體有惰性氣體 混合性氣體 氮?dú)? 氧氣 水蒸氣等……升溫速率≤0~ 20.C/ min溫控安全電爐采用集成化電路，模塊控制、雙回路保護(hù)（偏溫保護(hù)、超高溫保護(hù)、斷偶保護(hù)、超流保護(hù)、超壓保護(hù)）控溫度±1℃爐溫均勻性≤±5真空泵機(jī)械泵爐膛材質(zhì)高密度氧化鋁陶瓷纖維爐膛設(shè)計爐膛采用臺階式拼裝結(jié)構(gòu)，融合了力學(xué)定律，有效的保證了爐膛在加熱過程中受力均勻，保障了熱能不易散失，延長了爐膛的使用壽命。CVD六溫區(qū)真空管式爐:平行式可開啟設(shè)計,分六個溫區(qū)每個溫區(qū)各200mm  管徑直徑為：50mm。每個溫區(qū)可單獨(dú)控溫，加熱原料為進(jìn)口電阻絲爐膛，容樣品材料為高純度石英管 耐腐蝕性好。長時間工作溫度可達(dá)1150℃ 兩端用304不透鋼法蘭1套，配置機(jī)械泵1臺，一套四路質(zhì)子流量計。