HoribaSTEC N100系列質量流量控制器產品介紹
SEC-N112MGM、SEC-N112JM
HoribaSTEC SEC-N100系列數字式氣體質量流量控制器,又稱質量流量計,是horiba高性能質量流量計SEC-Z500系列的簡化版本,在滿足客戶對質量流量控制器高品質的要求下,減少了高昂的成本投入。
N100被廣泛地運用于各種工業領域,從太陽能電池、燃料電池的研究和制造,到半導體、液晶面板和電子行業中使用的發光二極管(LED)的研究和制造。暢銷的型號有:
SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N112MGR、SEC-N112JM、
SEC-N122MGM、SEC-N124MGM、SEC-N122MGR、SEC-N122JM、SEC-N127、
SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N172R。
量程最小0-3sccm,最大0-1000slpm。
特點:
1、可測量小流量1sccm,大流量1000SLPM;
2、最高精度0.3% ;
3、不受壓力影響;。
4、可選多種數字通訊:RS485、profibus、cc-link、EtherCAT、DeviceNet。
SEC-N112系列質量流量控制器技術參數:
型號 | 選擇通訊方式 | 選擇供電方式 |
SEC-N112MG、 SEC-N122MG、 SEC-N132MG、 SEC-N142MG、 SEC-N172MG | 數字式信號傳輸 ?RS485 F-NET協議 模擬式通訊 ?0~5VDC | HORIBA可提供PE系列供應電源 |
SEC-N114MG、 SEC-N124MG、 SEC-N134MG、 SEC-N144MG、 SEC-N174R | DeviceNet™ 通訊 | 符合ODVA標準 |
SEC-N115MG、 SEC-N125MG、SEC-N135MG、SEC-N145MG、SEC-N175R | CC-Link®通訊 模擬式通訊 ?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | 符合CC-Link®標準 24VDC(13 ~ 32VDC) |
SEC-N116MG、 SEC-N126MG、SEC-N136MG、SEC-N146MG、SEC-N176R | PROFIBUS™ 通訊方式 |
符合PROFIBUS™ 標準 24VDC(13 to 32VDC) |
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