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當前位置：冠乾科技（上海）有限公司>>技術文章>>SiC外延片測試方案
外延材料是實現器件制造的關鍵，主要技術指標有外延層厚度、晶格布局，材料結構，形貌以及物理性質，表面粗糙度和摻雜濃度等。本文闡述了SiC外延表面常見的測試手段。
本解決方案詳細闡述了如何檢測SiC外延層厚度、晶格布局，材料結構，形貌以及物理性質，表面粗糙度和摻雜濃度。如果需要查看完整的文章，請聯系我們。
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