簡單介紹

100級潔凈烤箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。Class 100 Clean Ovens

無塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

一．用途:

PVC無塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

二．特點：

1.在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100

2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；

3.采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)

4.強制送風循環方式。雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到*溫度控制精度。

三．產品技術參數：

1.主要技術指標：

   無塵等級：Class 100;                   溫度范圍： 60～ +300℃；

   溫度均勻度：200℃±4℃;             溫度波動度：±0.5℃（空載）        

   溫控精度：±0.1℃;                        工作尺寸：W800×D600×H1300         

   電源：380v , 50Hz，15KW         網板：2塊（高度可調節)

2、箱體結構：

   烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統組裝而成，結構合理，外觀美觀大方；
   箱體材料：外箱采用SUS304 ，1.5mm之拉絲不銹鋼，并經堿性蘇打水清潔，可防止微塵；
   內膽材料：采用優質SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產生 PARTICLE；
   中桶材料：采用優質SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。

3、溫控系統：
   采用韓國“三元”SAMWONTECH溫度控制器，控制器LED數字顯示及設定、PID自動演算、薄膜設定，精確度±0.3%FS。；
   訊號來源：采用PT100熱電阻±0.5%。
   輸出被控制組件：SSR無接點訊號輸出。
 

4、完善的安全保護措施：
漏電斷路器、     控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置、 電熱過電流保護裝置、
馬達過電流保護、 機臺異常蜂鳴器警示   逆向防止器、       門面安全開關
 

5、選購設備(需另外收費)：
   可程式溫控器        無紙記錄儀        三色指示燈          烘烤架

 注:無塵等級和尺寸可根據要求定制。