原裝HORIBA 控制器SEC-8000SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器


氣體接觸部材質(zhì)

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時(shí)：開

標(biāo)準(zhǔn)流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：80?100℃

原裝HORIBA 控制器SEC-8000

概要

質(zhì)量流量計(jì)是用來(lái)測(cè)量或控制氣體流量的一種設(shè)備。流量一般分為體積流量和質(zhì)量流量，但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響，如需精確測(cè)量，需不斷的改變測(cè)量條件來(lái)配合不斷改變的外界環(huán)境。而質(zhì)量流量，是利用測(cè)量氣體的質(zhì)量，而質(zhì)量是不受外界的環(huán)境的影響，從而可以提供高精度流量檢測(cè)和控制，且在半導(dǎo)體制造制程有廣泛的使用。

特征

它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。

適用于高溫：可滿足150℃烘焙產(chǎn)品陣容中有可滿足使用溫度的產(chǎn)品型號(hào)超清潔類型：接氣部全不銹鋼構(gòu)造MOCVD用有機(jī)金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制

概要

質(zhì)量流量計(jì)是用來(lái)測(cè)量或控制氣體流量的一種設(shè)備。流量一般分為體積流量和質(zhì)量流量，但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響，如需精確測(cè)量，需不斷的改變測(cè)量條件來(lái)配合不斷改變的外界環(huán)境。而質(zhì)量流量，是利用測(cè)量氣體的質(zhì)量，而質(zhì)量是不受外界的環(huán)境的影響，從而可以提供高精度流量檢測(cè)和控制，且在半導(dǎo)體制造制程有廣泛的使用。

特征

它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。

適用于高溫：可滿足150℃烘焙產(chǎn)品陣容中有可滿足使用溫度的產(chǎn)品型號(hào)超清潔類型：接氣部全不銹鋼構(gòu)造MOCVD用有機(jī)金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制

原裝HORIBA 控制器SEC-8000