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AVI-400M主動(dòng)除振臺(tái)

用途：廣泛用于蔡司ZEISS、萊卡Leica、日立HITACHI、日本電子JEOL等品牌的大型電子顯微主動(dòng)除震臺(tái)，以及半導(dǎo)體設(shè)備主動(dòng)除震臺(tái)、電子天平精密設(shè)備主動(dòng)除震臺(tái)。適用于各類大型顯微鏡AEMSEMATMTEM。

應(yīng)用范圍： 

• 超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）

• 光刻工具

• 高精度計(jì)量工具

• 光譜儀器

• 升級(jí)選項(xiàng)：

• 可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來增強(qiáng)低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

產(chǎn)品亮點(diǎn)：

• 六個(gè)空間方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主動(dòng)隔振, >200Hz被動(dòng)隔振)

• 5-20ms響應(yīng)時(shí)間                                                                   

• 低頻隔振性能優(yōu)異,安裝和使用簡單

• 系統(tǒng)主動(dòng)檢測輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除 

• 緊湊、模塊化的多功能設(shè)計(jì) 

• 穩(wěn)定性高，能*連續(xù)使用多年

• 無低頻共振、無空氣要求

AVI-400M主動(dòng)除振臺(tái)

技術(shù)參數(shù)：

• 型號(hào)：AVI-400M

• 系統(tǒng)配置：獨(dú)立隔振裝置 & 控制裝置

• 主動(dòng)隔振范圍：大致為1.0 Hz - 200 Hz 

• 被動(dòng)隔振范圍:大致為200 Hz以上

• 顯示屏信號(hào):多路復(fù)用信號(hào)用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動(dòng)水平。 

• LEDs 指示輸出階段的過載情況。

• 單元尺寸(每個(gè)):190 x 720 x 112.5 Hmm

• 控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm

• 隔振單元重量: 20kg

• 負(fù)載能力:800 kg (同等/低重心) 

• 輸入電壓: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

• 功耗：通常18W

• 溫度范圍：5℃ - 40℃

• 相對(duì)濕度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)

• 室內(nèi)/室外使用：僅用于室內(nèi)

主動(dòng)除震臺(tái)隔振效果：

性能對(duì)比圖：SEM的研究人員在兩種*條件下進(jìn)行成像：不含隔振系統(tǒng)和包含AVI系列隔振臺(tái)。當(dāng)使用AVI系列隔振臺(tái)搭載SEM時(shí)，所得圖像表明圖像質(zhì)量和整體測量清晰度得到大幅提升。