AVI-400M主動除振臺

品牌：HERZ

型號：AVI-400M

用途：廣泛用于蔡司ZEISS、萊卡Leica、日立HITACHI、日本電子JEOL等品牌的大型電子顯微主動除震臺，以及半導體設備主動除震臺、電子天平精密設備主動除震臺。適用于各類大型顯微鏡AEMSEMATMTEM。

應用范圍： 

• 超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）

• 光刻工具

• 高精度計量工具

• 光譜儀器

• 升級選項：

• 可與LFS低頻穩定器配套使用來增強低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

產品亮點：

• 六個空間方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主動隔振, >200Hz被動隔振)

• 5-20ms響應時間                                                                   

• 低頻隔振性能優異,安裝和使用簡單

• 系統主動檢測輸入振動并動態消除 

• 緊湊、模塊化的多功能設計 

• 穩定性高，能*連續使用多年

• 無低頻共振、無空氣要求

AVI-400M主動除振臺

技術參數：

• 型號：AVI-400M

• 系統配置：獨立隔振裝置 & 控制裝置

• 主動隔振范圍：大致為1.0 Hz - 200 Hz 

• 被動隔振范圍:大致為200 Hz以上

• 顯示屏信號:多路復用信號用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動水平。 

• LEDs 指示輸出階段的過載情況。

• 單元尺寸(每個):190 x 720 x 112.5 Hmm

• 控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm

• 隔振單元重量: 20kg

• 負載能力:800 kg (同等/低重心) 

• 輸入電壓: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

• 功耗：通常18W

• 溫度范圍：5℃ - 40℃

• 相對濕度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)

• 室內/室外使用：僅用于室內

主動除震臺隔振效果：

性能對比圖：SEM的研究人員在兩種*條件下進行成像：不含隔振系統和包含AVI系列隔振臺。當使用AVI系列隔振臺搭載SEM時，所得圖像表明圖像質量和整體測量清晰度得到大幅提升。