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鍍層膜厚測量儀兼顧易操作性與安全性
閱讀：574 發(fā)布時(shí)間：2018-9-25
鍍層膜厚測量儀兼顧易操作性與安全性
放大了開口，同時(shí)樣本室的門也可單手輕松開閉。從而提高了取出、放入檢測樣本的操作簡便性，并且該密封結(jié)構(gòu)也大大減少了X射線泄漏的風(fēng)險(xiǎn)，讓用戶放心使用。
鍍層厚度的測量方法主要有：楔切法，光截法，電解法，厚度差測量法，稱重法，X射線熒光法，β射線反向散射法，電容法、磁性測量法及渦流測量法等等。這些方法中前五種是有損檢測，測量手段繁瑣，速度慢，多適用于抽樣檢驗(yàn)。
鍍層測厚儀是將X射線照射在樣品上，通過從樣品上反射出來的第二次X射線的強(qiáng)度來。測量鍍層等金屬薄膜的厚度，因?yàn)闆]有接觸到樣品且照射在樣品上的X射線只有45-75W左右，所以不會對樣品造成損壞。同時(shí)，測量的也可以在10秒到幾分鐘內(nèi)完成。
日立X射線熒光鍍層膜厚測量儀顯微領(lǐng)域的高精度檢測：
X射線熒光通過采用新開發(fā)的多毛細(xì)管，以及對探測器的優(yōu)化，在實(shí)現(xiàn)照射半徑等同于舊有型號FT9500X為30 μm（設(shè)想FWHM： 17 μm）的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步將處理能力提高到了2倍以上。
日立X射線熒光鍍層膜厚測量儀使用新開發(fā)的X射線聚光用多毛細(xì)管的產(chǎn)品陣容誕生了，以X射線檢測結(jié)構(gòu)為中心，對各類元件進(jìn)行Z佳優(yōu)化，從而大幅提高了檢測靈敏度，在不損失檢測精度的前提下實(shí)現(xiàn)了的高處理能力。并且，對設(shè)備進(jìn)行了重新設(shè)計(jì)，使得樣本室的使用，以及對檢測點(diǎn)的檢查變得更為容易。