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JKZC-DH系列綜合型探針臺
|產品概要
JKZC-DH系列探針臺是一款綜合型晶圓測試探針臺，最大可完成12英寸晶圓的電學測試。此系列探針臺設備配 置十分豐富，不僅具備龍門架結構和卡盤的升降功能，還具備卡盤快速移動技術，可快速定位 樣品位置,提高測試效率。另外針座平臺具備三段式升降功能,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到 快速分離，同時也方便探針卡的使用。此設備在大型實驗室或者半導體工廠得到廣泛運用，配合對應的儀器儀表，可以完成集成電路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性測試/管芯晶圓/LED/LC- D/太陽能電池行業的測試。此系列探針臺可以實現1μm以上的Pad電極測試,也可以實現搭載探針卡的測 試。
|技術特點
•卡盤可360度快速移動，便于快速定位樣品位置,提高測試效率；
•三段式可升降探針座平臺，在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離；
•加厚級剛性金屬框架結構設計,內部防震技術，結構性能穩定。
詳細參數
產品型號 技術參數 | JKZC-DH6 | JKZC-DH8 | JKZC-DH12 | |
探針臺本體 | 主體材料 | 航空鋁 | 航空鋁 | 航空鋁 |
整機尺寸（mm） | 750L*550W*680H | 800L*580W*680H | 930L*700W*680H | |
重? | 75kg | 95kg | 150kg | |
卡盤大小 | 6" ,360度轉動，可微調 | 8",360度轉動，可微調 | 12；360度轉動，可微調 | |
卡盤XY軸行程 | 6"6",精度 10um | 8"*8"，精度 10um | 12"*12"3m 度 10um | |
卡盤Z軸行程 | 快速升降5mm,微調升降行程6mm,精度1微米 | |||
卡盤材質 | 不銹鋼鍍金，具備更小的接觸電阻 | |||
卡盤氣浮移動范圍 | 360度快速移動，便于快速定位，提高測試效率 | |||
卡盤吸附方式 | 真空吸附，可選擇環形吸附或者多孔吸附（適用于薄片） | |||
背電極測試功能 | 卡盤鍍金，電學獨立懸空，帶2個4mm香蕉頭插口，具備背電極功能 | |||
其它功能 | 帶標準接地保護，可升級 | |||
針座平臺 | 材質 | U型平臺，Q235鍍銀，帶接地端子 | ||
大小 | 最多可放置6個探針座 | 最多可放置8個探針座 最多可放置12個探針座 | ||
三段式升降平臺 | 探針平臺可以快速升降，擁有5mm和300um兩檔，探針平臺可以上下微調， 行程25mm,升降精度gm。（使用探針卡的時候使用） | |||
顯TH系統 | 顯微鏡類型 | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統 | ||
倍率范圍 | 16X~200X/40X~280X/20X~4000X | |||
顯微鏡行程 | 具備高剛性龍門架結構,XYZ行程分別為2英寸*2英寸*2英寸，精度lum | |||
CCD成像系統 | 2k或者4K相機，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能 | |||
探針座 | 種類 | 絲桿型/微分頭型/經濟型探針座 | ||
X￥Z行程 | 12.5mm-12.5mm-12.5mm | |||
機械精度 | 0.5um/0.7um/2um | |||
夾具 | 漏電精度 | 同軸夾具10pA/H軸夾具lOOfA | ||
接口形式 | 同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口 | |||
其它 | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率/半自動 | ||
電力需求 | 220W50HZ | |||
搭配產品/半導體參數分析儀
我們經過近10年的發展,在測試儀器與探針臺的搭配方面具備十分 豐富的經驗。半導體參數分析儀方面，我們和是德科技(Keysight)、泰克(Tektronix)、概倫電子(PRIMARIUS)等公司的半導體參數分析儀有過多次搭配經驗，系列型號有Keysight B1500A、Keith ley 4200A-SCS、PRIMARIUS FS-Pro等,并為用戶提供半導體參數分析 儀與探針臺集成測試方案和服務。
搭配產品/矢量網絡分析儀
依靠與儀器設備廠商和設備集成經銷商所保持良好的合作關系，我司可為用戶提供是德科技(Keysight)、中電思儀(Ceyear)等公司的網絡分析儀和模塊，有Keysight E5063A/E5072A/E5061B/E5080B ENA、Keysight(N522x/3x/4xB) PNA、Keysight N5290A/ N5291A、Ceyear 3762A/B/C-S、Ceyear 3671C/D/E等,各系列型號的矢量網絡 分析儀和毫米波網絡分析儀，涵蓋不同測量頻率范圍、性能和功能，并 為用戶提供網絡分析儀與探針臺集成測試方案和服務,具備豐富的測 試經驗。
搭配產品/其他類型源表
在其它類型源表方面，比如tek2450,tek2600,keysight2900,普賽斯S300,鐵電分析儀，各類示波器，各類電源，頻譜儀等等都有多年的搭配經驗。
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