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JKZC-ST4型半導體材料四探針測試儀
關鍵詞：電阻，電阻率，四探針，半導體
膜探頭測薄膜 鎢針探頭
一、產品概述
JKZC-ST4型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標準。
儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、智能化程度高、測量簡便、結構緊湊、使用方便等特點。
儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試。
二、符合：
1、符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、
2、符合GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》
3、符合美國 A.S.T.M 標準
二、產品應用：
1、測試硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻；
2、可測柔性材料導電薄膜電阻率/方阻
3、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜（ITO膜）電阻率/方阻
4、納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻
5、電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量
6、可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻
二、基本技術參數
1、 測量范圍
電 阻：1×10-4～2×105 Ω ，分辨率：1×10-5～1×102 Ω
電阻率：1×10-4～2×105 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×102 Ω-cm
方 阻：5×10-4～2×105 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×102 Ω/□
2、測量方式：自動或手動
3、基本精度：±0.1/%
4、四探針探頭：
(1)碳化鎢探針：Φ0.5mm，直線探針間距1.0mm，探針壓力: 0～2kg 可調
(2)薄膜方阻探針：Φ0.7mm，直線或方形探針間距2.0mm，探針壓力: 0～0.6kg 可
5. 電源：198V －242V(AC），47.5Hz －63Hz
6、操作環境： 0°C －40°C ，≤90%RH
7、外形尺寸：200mm（長）×220 mm（寬）×100mm（高）
8、數據傳輸方式；USB
9、軟件方式：人性化分析軟件界面，數據自動生成
分析軟件（一）
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