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ZT-40-16D多晶硅鑄錠爐

實驗用8kg多晶硅鑄錠爐ZT-40-16D

研發背景：

應某大學硅材料國家重點實驗室要求，本公司新研發了一臺小型實驗室專用多晶硅鑄錠爐，此設備具有如下特點：

1.具有當今市場主流鑄錠爐的一切功能，包括實現全自動運行。

2.具有生產周期短，能耗低，實驗成本節約的特點。

3.增加了部分新功能，除鑄錠以外，還實現部分提純功能。

技術參數：

1.功率：40KW

2.坩堝容量：標準10英寸

3.高溫度：1550度

4.極限真空度：10-1Pa

5.保溫罩上移距離：200mm

6.爐底大位移：800mm

7.進出料方式：爐底進出

8.加熱元件：石墨管加熱

9.保護功能：除了超壓自動泄壓、漏硅聲光報警、更有*的漏硅保護措施，確保操作安全。

10.常用溫度：1550℃

11.高溫度：1600℃

12．控制方式：可控硅調功+大電流變壓器

13．控溫精度：±3℃

14．石英坩堝尺寸：198×198×200mm(L×W×H)

15．鑄錠重量：2-8KG

16．保溫桶大位移：200mm

17．空爐冷態極限真空度：≤6.67×10-1Pa

18．保溫層移動速度：0.5-25mm /小時(可調)

19. 空爐冷態壓升率：≤2 Pa/h

ZT-40-16D多晶硅鑄錠爐