內(nèi)平面孔徑儀使用兩個或三個點(diǎn)來定位并直接測量孔徑，這也是測量孔徑的常用方法。根據(jù)被測孔徑的精度等級和數(shù)量，可以使用游標(biāo)卡尺，工具顯示鏡，萬能測長儀，水平測長儀，水平光學(xué)測厚儀，氣動動量儀等通用長度測量工具；也可以使用特殊的孔徑測量工具，例如內(nèi)徑千分尺，內(nèi)徑百分表和百分表，內(nèi)徑千分尺，電子塞規(guī)和基于氣動光學(xué)和電原理的孔徑計。
1.帶有杠桿機(jī)構(gòu)的測量孔：此方法通常用于手持式孔徑測量工具，例如內(nèi)徑百分表，機(jī)械或電氣內(nèi)徑千分尺等。內(nèi)平面孔徑儀測得的孔徑尺寸和校準(zhǔn)環(huán)規(guī)之間的差光圈通過杠桿機(jī)構(gòu)從百分表，機(jī)械或電氣千分尺讀出。這種測孔工具的測量孔徑范圍一般為10?800mm，內(nèi)徑千分尺的測量精度可以達(dá)到3?5μM。
2.使用楔形原理測量孔：這種方法也常用于手持式孔測量工具中。用于測量小孔的內(nèi)徑百分表可以測量小至0.5毫米的孔。當(dāng)測得的孔壓緊探針并用圓錐體移動測量桿時，可以從百分表或千分尺讀出孔的誤差。三點(diǎn)定位方法適用于測量直徑大于3mm的孔。當(dāng)測量桿旋轉(zhuǎn)時，測量桿在固定螺母的作用下向前移動，三個探頭通過圓錐形向外移動，圓錐體在測量桿的頂部帶有螺旋凸起，并與被測孔接觸。從固定套筒和差動缸上的刻度上讀出測得的孔徑，有三個用于測孔的爪式千分尺。
3.根據(jù)氣動，光學(xué)和電動原理，必須在接近20℃的恒定溫度下進(jìn)行內(nèi)平面孔徑儀的高精度孔徑測量。光學(xué)干涉孔徑計的孔徑測量范圍為1?50mm，精度為±0.5μM.
