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產品介紹
UNION HISOMENT三軸測量顯微鏡 非接觸式深度測量工具顯微鏡
工具顯微鏡為一專業X、Y、Z軸坐標測量顯微鏡，X、Y工作臺行程由100*200mm到大行程500*500mm，放大倍數由5至1000×。為求提高工件在Z軸深度/高度測量時的精度，Z軸對焦采用一光學“裂像指示器”，結合精密的Z軸“Cross Roller Bearing”導軌，可測范圍25 mm，精度高達1μm，配合特殊附件，測量分解度更可達0.5μm或0.1μm.
技術規格
型號：DH II
工作臺行程：100*200mm/150*300mm/500*500mm
Z軸測量范圍：25mm/25mm/25mm
三軸分解度：0.001mm
Z軸讀數裝置：ID-F內置數顯表/外置數據處理系統
反射照明系統： 內置8V-15W鎢絲燈/外置冷光源
標準目鏡：10X
標準物鏡：10X
讀數系統
DRO200S簡易坐標讀數器/QC200多功能數據處理器/QC5000測量軟件計算機系統
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