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目錄:青島森泉光電有限公司>>光學平臺>>光學隔振系統>> TMCS TACIS 4主動隔振系統,用于半導體隔振

TMCS TACIS 4主動隔振系統,用于半導體隔振
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參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
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  • 品牌 TMC
  • 型號
  • 廠商性質 代理商
  • 所在地 青島市
屬性

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更新時間:2024-10-08 11:20:18瀏覽次數:1309評價

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產地類別 進口 價格區間 面議
應用領域 醫療衛生,生物產業,電子,航天,綜合
TMCS TACIS 4主動隔振系統,用于半導體隔振
全新的STACIS 4建立在我們成熟的STACIS技術基礎上,該技術被全Q十個大半導體制造商中的九家所使用。
特別的串聯設計和專有的壓電技術所產生0.2 Hz至150 Hz的寬帶隔離,在2Hz時可減少99.9%的振動。

TMCS TACIS 4主動隔振系統,用于半導體隔振

產品概述

STACIS®4是**的主動隔振系統。它裝有慣性振動傳感器,配合準確的控制算法與*的壓電作動器。STACIS 4可實時偵測地面振動再憑借壓電作動器的收縮或膨脹即刻消除地面振動。全新的STACIS 4建立在我們成熟的STACIS技術基礎上,該技術被全Q十個大半導體制造商中的九家所使用。

TMCS TACIS 4主動隔振系統,用于半導體隔振

起初STACIS是為半導體工廠的精密光刻機,計量儀和檢測設備而設計,如今是嘈雜環境中z敏感儀器的行業標準隔振解決方案,包括但不限于故障分析,納米技術研究,納米制造,結構生物學和材料研究等應用。
STACIS 4包括新改進的,低噪聲的數字控制器,DC-2020帶有雙核處理器。這種新的控制系統為使用者提供了一個易用的圖形用戶界面(GUI)。

STACIS 4建立在前幾代的成功架構上,增加了*的控制算法和新的專有技術。以前無法實現對建筑物地面所有頻率的振動消除,但特別是10Hz以下的振動,對高分辨率成像和計量來說*敏感的。當與FloorSense™技術相結合時,STACIS 4在2Hz時可減少60 dB的建筑物地面振動,在1Hz時可減少27dB。

TMCS TACIS 4主動隔振系統,用于半導體隔振

產品優點:

STACIS 4相比于氣浮支腿更加堅固可靠,且不存在氣浮隔振系統離不開氣源的局限性。它無氣浮支撐,并且與主動的氣浮系統不同。STACIS 4可以放置在具有內部主動空氣隔離系統的設備下面,且兩個隔振系統相互兼容。
     特別的串聯設計和專有的壓電技術所產生0.2 Hz至150 Hz的寬帶隔離,在2Hz時可減少99.9%的振動。
     比STACIS III更好的振動控制,與行業標準解決方案相比,STACIS 4將2 Hz的振動控制提高了60 dB以上。
     穩定的串聯設計允許使得您安裝后即可,無需再次安裝調試,不像并行式設計本質上是不穩定的,需要頻繁調整以保持峰值性能。此外,STACIS 4允許兩級振動控制設計,可以在STACIS III系統之上結合被動或主動的平行平臺。隨著對儀器的振動分辨率的要求越來越高,兩級設計正變得越來越普遍。
     STACIS 4的性能相當于在穩定的地面上減少5個VC曲線的振動。這種性能使用戶能夠靈活地在不理想的振動環境中安裝儀器,從而在設施布局和設計方面具有更大的適配性。


TMCS TACIS 4主動隔振系統,用于半導體隔振


產品規格

TMCS TACIS 4主動隔振系統,用于半導體隔振

應用案例:

TMCS TACIS 4主動隔振系統,用于半導體隔振

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