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TMCS TACIS 4主動(dòng)隔振系統(tǒng)，用于半導(dǎo)體隔振

產(chǎn)品概述

STACIS®4是**的主動(dòng)隔振系統(tǒng)。它裝有慣性振動(dòng)傳感器，配合準(zhǔn)確的控制算法與*的壓電作動(dòng)器。STACIS 4可實(shí)時(shí)偵測(cè)地面振動(dòng)再憑借壓電作動(dòng)器的收縮或膨脹即刻消除地面振動(dòng)。全新的STACIS 4建立在我們成熟的STACIS技術(shù)基礎(chǔ)上，該技術(shù)被全Q十個(gè)大半導(dǎo)體制造商中的九家所使用。

起初STACIS是為半導(dǎo)體工廠的精密光刻機(jī)，計(jì)量?jī)x和檢測(cè)設(shè)備而設(shè)計(jì)，如今是嘈雜環(huán)境中z敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)隔振解決方案，包括但不限于故障分析，納米技術(shù)研究，納米制造，結(jié)構(gòu)生物學(xué)和材料研究等應(yīng)用。
STACIS 4包括新改進(jìn)的，低噪聲的數(shù)字控制器，DC-2020帶有雙核處理器。這種新的控制系統(tǒng)為使用者提供了一個(gè)易用的圖形用戶(hù)界面(GUI)。

STACIS 4建立在前幾代的成功架構(gòu)上，增加了*的控制算法和新的專(zhuān)有技術(shù)。以前無(wú)法實(shí)現(xiàn)對(duì)建筑物地面所有頻率的振動(dòng)消除，但特別是10Hz以下的振動(dòng)，對(duì)高分辨率成像和計(jì)量來(lái)說(shuō)*敏感的。當(dāng)與FloorSense™技術(shù)相結(jié)合時(shí)，STACIS 4在2Hz時(shí)可減少60 dB的建筑物地面振動(dòng)，在1Hz時(shí)可減少27dB。

TMCS TACIS 4主動(dòng)隔振系統(tǒng)，用于半導(dǎo)體隔振

產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：

STACIS 4相比于氣浮支腿更加堅(jiān)固可靠，且不存在氣浮隔振系統(tǒng)離不開(kāi)氣源的局限性。它無(wú)氣浮支撐，并且與主動(dòng)的氣浮系統(tǒng)不同。STACIS 4可以放置在具有內(nèi)部主動(dòng)空氣隔離系統(tǒng)的設(shè)備下面，且兩個(gè)隔振系統(tǒng)相互兼容。
     特別的串聯(lián)設(shè)計(jì)和專(zhuān)有的壓電技術(shù)所產(chǎn)生0.2 Hz至150 Hz的寬帶隔離，在2Hz時(shí)可減少99.9%的振動(dòng)。
     比STACIS III更好的振動(dòng)控制，與行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案相比，STACIS 4將2 Hz的振動(dòng)控制提高了60 dB以上。
     穩(wěn)定的串聯(lián)設(shè)計(jì)允許使得您安裝后即可，無(wú)需再次安裝調(diào)試，不像并行式設(shè)計(jì)本質(zhì)上是不穩(wěn)定的，需要頻繁調(diào)整以保持峰值性能。此外，STACIS 4允許兩級(jí)振動(dòng)控制設(shè)計(jì)，可以在STACIS III系統(tǒng)之上結(jié)合被動(dòng)或主動(dòng)的平行平臺(tái)。隨著對(duì)儀器的振動(dòng)分辨率的要求越來(lái)越高，兩級(jí)設(shè)計(jì)正變得越來(lái)越普遍。
     STACIS 4的性能相當(dāng)于在穩(wěn)定的地面上減少5個(gè)VC曲線的振動(dòng)。這種性能使用戶(hù)能夠靈活地在不理想的振動(dòng)環(huán)境中安裝儀器，從而在設(shè)施布局和設(shè)計(jì)方面具有更大的適配性。

產(chǎn)品規(guī)格

應(yīng)用案例：

森泉為您的科研事業(yè)添磚加瓦：

激光控制：激光電流源、激光器溫控器、激光器控制、伺服設(shè)備與系統(tǒng)等等

探測(cè)器：光電探測(cè)器、單光子計(jì)數(shù)器、單光子探測(cè)器、CCD、光譜分析系統(tǒng)等等

定位與加工：納米定位系統(tǒng)、微納運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、多維位移臺(tái)、旋轉(zhuǎn)臺(tái)、微型操作器等等

光源：半導(dǎo)體激光器、固體激光器、單頻激光器、單縱模激光器、窄線寬激光器、光通訊波段激光器、CO2激光器、中紅外激光器、染料激光器、飛秒超快激光器等等

光機(jī)械件：用于光路系統(tǒng)搭建的 gao 品 zhi 無(wú)應(yīng)力光機(jī)械件，如光學(xué)調(diào)整架、鏡架、支撐桿、固定底座等等

光學(xué)平臺(tái)：主動(dòng)隔振平臺(tái)、氣浮隔振臺(tái)、實(shí)驗(yàn)桌、剛性工作臺(tái)、面包板、隔振、隔磁、隔聲綜合解決方案等等

光學(xué)元件：各類(lèi)晶體、光纖、偏轉(zhuǎn)鏡、反射鏡、透射鏡、半透半反鏡、濾光片、衰減片、玻片等等

染料：激光染料、熒光染料、光致變色染料、光致發(fā)光染料、吸收染料等等