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磁控濺射靶材
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  • 磁控濺射靶材

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貨物所在地: 廣東廣州市
更新時間: 2024-11-18 08:38:37
期: 2024年11月18日--2025年11月18日
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產品簡介

高純度的金屬濺射靶材適用于多種品牌的離子濺射儀: 包括PELCO®, Cressington, Agar, Bal-Tec, Bio-Rad, Denton, Edwards, Emitech, Emscope, Gatan, ISI, JEOL, LEICA, Polaron, Quorum, and SPI.?這些磁控濺射靶材的直徑分為60,57,54,50和19mm。

詳細介紹

高純度的金屬濺射靶材適用于多種品牌的離子濺射儀: 包括PELCO®, Cressington, Agar, Bal-Tec, Bio-Rad, Denton, Edwards, Emitech, Emscope, Gatan, ISI, JEOL, LEICA, Polaron, Quorum, and SPI.?這些磁控濺射靶材的直徑分為60,57,54,50和19mm。

1、高純60mm金屬靶材:適用于Denton DESK II / DESK III / DESK IV/ DESK V, Edwards 150 B / SCANCOAT, Emitech K500/K550/K650Emscope SC500離子濺射儀。

貨號

產品描述

單位

91217

銅靶, 99.99% Cu (Ø60mm x 0.076mm)

91210

金靶, 99.99% Au (Ø60mm x 0.1mm)

91212

金鈀合金靶, 99.99% Au:Pd 60/40 (Ø60mm x 0.1mm)

91216

鎳靶, 99.98% Ni (Ø60mm x 0.1mm)

91214

鉑靶, 99.95% Pt (Ø60mm x 0.1mm)

91219

鈀靶, 99.95% Pd (Ø60mm x 0.1mm)

91229

銀靶, 99.99% Ag (Ø60mm x 0.1mm)

2、高純57mm金屬靶材:適合于 Agar, Cressington 108/208, Emitech SC7620/SC7610/K575X/K575XD, ISI 5400, JEOL JFC 1200/1300/1400/1600/2300HR, PELCO® Model 3, SC4/SC5/SC6/SC7, Polaron 5000/5400/SC7610/SC7620, Quorum Q150, SPI Module/Super離子濺射儀
 

貨號

產品描述

單位

8074

鉻靶, 99.95% Cr (Ø57mm x 3.2mm) (208HR only)

91117

銅靶, 99.99% Cu (Ø57mm x 0.1mm)

8077

銅靶, 99.99% Cu (Ø57mm x 0.3mm)

91110

金靶, 99.99% Au (Ø57mm x 0.1mm)

8071

金靶, 99.99% Au (Ø57mm x 0.2mm)

91112

金鈀合金靶, 99.99% Au:Pd 60/40 (Ø57mm x 0.1mm)

91111

金鈀合金靶, 99.99% Au:Pd 60/40 (Ø57mm x 0.2mm)

91132-B

銦錫氧化物靶 , 99.99% ITO, In2O3/SnO2 90/10 wt % 背面有1mm 銅片, (Ø57mm x 3mm 總厚)(208HR only)

91120

銥靶, 99.95% Ir (Ø57mm x 0.3mm) (208HR only)

91124

鐵靶, 99.5% Fe (Ø57mm x 0.12mm) (208HR only)

8073

鉬靶, 99.95% Mo (Ø57mm x 0.25mm) (208HR only)

91116

鎳靶, 99.98% Ni (Ø57mm x 0.1mm) (208HR only)

8079

鈮靶, 99.95% Nb (Ø57mm x 0.25mm) (208HR only)

91119

鈀靶, 99.95% Pd (Ø57mm x 0.1mm)

91114

鉑靶, 99.95% Pt (Ø57mm x 0.1mm)

8076

鉑鈀合金靶, 99.99% Pt:Pd 80/20 (Ø57mm x 0.1mm)

91115

鉑鈀合金靶, 99.99% Pt:Pd 80/20 (Ø57mm x 0.2mm)

91118

銀靶, 99.99% Ag (Ø57mm x 0.1mm)

91129

銀靶, 99.99% Ag (Ø57mm x 0.3mm)

8075

鉭靶, 99.95% Ta (Ø57mm x 0.3mm) (208HR only)

91123

鈦靶, 99.6% Ti (Ø57mm x 0.2mm) (208HR only)

8078

鎢靶, 99.95% W (Ø57mm x 0.25mm) (208HR only)

3、高純54mm金屬靶材,適合于Bal-Tec SCD005/040/050/500, MED10/20 LEICA EM SCD 005/050/500, MED 020 離子濺射儀。

4、高純50mm金屬靶材,適合于Anatech/Technics Hummer I, II, III, Fullam EffaCoater Fullam EMS-76離子濺射儀。

5、高純38mm金屬靶材,適合于Cressington 308HR離子濺射儀。

6、高純19mm金屬靶材,適合于Gatan Model 681 and 682 PECS 離子束濺射儀

鍍非導電SEM樣品時,如何選擇相應靶材:

Gold黃金

優良的靶材,廣泛應用于標準SEM鍍膜。對于冷鍍膜離子濺射儀(Cressington 108auto),對于熱敏性樣品幾乎不會產生任何熱量. 在高倍SEM下可看到顆粒尺寸

Gold/Palladium金鈀合金

濺射率低于純黃金. Au相比,Au/Pd 的顆粒更小,但由于其有兩個峰,所以不是很適合EDS分析,也不是很適合熱敏性物質鍍膜。

Palladium

成本低,可用于中低放大倍數場合,具有更低的SE信號

Platinum鉑金

具有比Au Au/Pd更小的濺射顆粒。但濺射率更低。如果有氧氣,則應力開裂的敏感性。有更高的SE產出。

Platinum/Palladium鉑鈀合金

顆粒大小與Pt差不多,但應力開立的敏感性較小。非常適合FESEM,但更適合高分辨率鍍膜儀208HR.

Silver

成本低,可用于中低放大倍數場合,顆粒比Au. 適合于小型SEMs。與AuPt相比,SE產出更低。. 如果樣品沒有放在真空環境下,則鍍膜表面易氧化. 可用于特殊的EDS工作.

Chromium

非常細的濺射顆粒,適合于 FESEM. 為避免氧化,需用于208HR一樣的高真空鍍膜儀。鍍膜后的樣品只能存放在高真空環境中. 濺射離子直線下落。適合生物樣品的BE成像,濺射產率低。

Iridium

非常細的濺射顆粒,適合于 FESEM,需用于208HR一樣的高真空鍍膜儀,濺射產率低。

Tungsten

可替代Cr.顆粒非常細,但氧化非???,濺射產率低。  

Nickel

可作為特殊的EDS應用, 不適合SE成像.適合BE成像,濺射產率低,鍍膜易氧化。

Copper

適用于EDS. 適合中/低放大倍數場合,BE成像.

Note 1:鋁的濺射產率非常低,對于SEM離子濺射不適用,且氧化非??臁?/span>
Note 2:碳于EDS應用,但很難濺射。碳的蒸發產率非常好。

 

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