美國OAI INSTRUMENTS光刻機6000規格

光刻方式：接近式，軟，硬，真空接觸式

基底尺寸：2-12寸晶圓或者zui大200mm方形

曝光分辨率：

真空接觸:0.5-0.8um

硬接觸:0.8-1.0um

軟接觸:1.0-3.0um

接近式(20um 間隙):3.0um

曝光均勻性：優于±3%

對準精度：頂面0.5um，底面1.0um（選件）

產量：180片/小時zui大

上海連航機電科技有限公司是專業銷售進口業務所涉及的產品品類眾多、應用廣泛，同類可互換產品選擇多樣化，專業技術團隊和團隊可以滿足客戶關于產品選購、、項目集成等的需求。主要產品品類有：物理參數檢測測量、自動化與工業IT、液壓、氣動、分析儀器、實驗室設備、制動傳動設備、電器元件、機床、工具、物流設備、工業機器、成套設備的供應商,如您對進口電機、泵、閥門、電器元件、機床、工具、儀器儀表等產品感興趣，咨詢！