您好, 歡迎來到化工儀器網
產品簡介
詳細介紹
桌面式半導體快速退火爐，RTP-TABLE-6是一款桌面型快速退火設備，標配三組工藝氣體，可最大兼容6英寸晶圓Wafer。
桌面式半導體快速退火爐的產品優勢
?紅外鹵素燈管加熱，冷卻采用風冷；
?采用快速PID溫控，可精準控制溫度升溫，保證良好的重現性和溫度均勻性；
?采用平行氣路進氣方式，氣體進出口設置在晶圓表面，避免退火過程中冷點產生，保證良好的溫度均勻性；
?大氣與真空處理方式均可選擇，實現進氣前氣體凈化處理。
晟鼎與華南理工大學聯合創建等離子技術聯合實驗室，所有產品系列皆通過CE認證。