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當前位置：深圳維爾克斯光電有限公司>>光學鏡片及配件>>反射鏡>> XRM-1203M-193Lambda準分子激光反射鏡 輸出波長193nm
CVI Laser Optics 193nm反射鏡 248nm反射片
| 供貨周期 | 一個月 | 規格 | 標準品 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 | 主要用途 | 激光光學 |
ArF(193nm)，反射率>97%、耐酸/氟的193/248/308nm反射鏡
Lambda Research Optics由從事電子光學業務超過25年的專業人士創立，專注于生產用于從真空紫外到遠紅外整個光學光譜的光學元件。Lambda對光學、光學材料和光學鍍膜具備一定的能力，可為客戶提供研究、開發或產品制造所需的光學元件。Lambda準分子激光反射鏡 輸出波長193nm
美國Lambda準分子反射鏡分為腔內反射鏡(XRM/XOC)和腔外反射鏡(XHR/XPR)，ArF(193nm)、KrF(248nm)或XeCl(308nm)準分子激光反射鏡可用于微光刻、微制造和醫療設備等應用。氟化氬準分子激光器可產生193nm的短波長輸出，這對于追求更精細分辨率的微光刻領域非常重要，此波長下，建議使用氟化鈣或氟化鎂基底作為腔內透射光學元件。后腔反射鏡(Excimer Cavity Rear Mirrors (XRM))在激光波長下的反射率至少為97%。另外，用戶可選擇輸出耦合器的反射率。值得關注的是，Lambda高質量準分子激光腔鍍膜涂層是專為耐酸/氟(Acid/Fluorine resistance)而設計的。
腔外反射鏡(extra-cavity mirrors)用于氟化氬準分子激光器，它們使用紫外熔融石英襯底，輸出波長為193nm。在短波長下工作時，高質量的涂層和高的潔凈度至關重要，這些反射鏡在正常入射時的非偏振反射率至少為97%，在45°入射時為96%。部分反射率可由用戶選擇。
準分子激光反射鏡 Lambda的主要特點：
腔內反射鏡和輸出耦合鏡(XRM/XOC)特征：
- 氟化氬準分子激光光學器件
- 氟化鈣或氟化鎂基底
- 反射率>97%
腔外反射鏡和部分反射鏡(XHR/XPR)特征：
- 腔外轉向鏡Extra-Cavity Turning Mirrors
- 正常或45°入射角
- 高反射率或部分反射率
308/248/193nm反射鏡的規格：
規格 | 描述 |
材質Material | XRM/XOC：紫外MgF?/紫外CaF? XHR/XPR：準分子級熔融石英 |
表面質量 | XRM/XOC：<20/10 XHR/XPR：<10/5 |
曲率半徑 | ∞ |
表面平整度 | < λ/10@633 nm |
直徑公差 | < +0.00/– 0.20 mm |
厚度公差 | < ±0.25 mm |
清晰光圈 | ≥ 85% of diameter |
損傷閾值 | >1.2J/cm2, 10 ns |
耐用性 | 符合MIL-C-675標準的附著力和耐磨性要求 |
93nm準分子反射鏡和輸出耦合鏡XRM/XOC型號參數：
MgF2 | CaF2 | 直徑 | 厚度 (mm) | 運行參數 |
腔內反射鏡Rear Cavity Mirror | ||||
XRM-1203M-193 | XRM-1203CU-193 | 0.50" | 3.0 | ≥97% |
XRM-2003M-193 | XRM-2003CU-193 | 20mm | 3.6 | ≥97% |
XRM-2503M-193 | XRM-2503CU-193 | 1.00" | 3.0 | ≥97% |
XRM-3605M-193 | XRM-3605CU-193 | 36mm | 5.5 | ≥97% |
XRM-3805M-193 | XRM-3805CU-193 | 1.50" | 5.5 | ≥97% |
XRM-5009M-193 | XRM-5009CU-193 | 2.00" | 9.5 | ≥97% |
輸出耦合反射鏡Output Coupler | ||||
XOC-1203M-*R-193 | XOC-1203CU-*R-193 | 0.50" | 3.0 | * |
XOC-2003M-*R-193 | XOC-2003CU-*R-193 | 20mm | 3.6 | * |
XOC-2503M-*R-193 | XOC-2503CU-*R-193 | 1.00" | 3.0 | * |
XOC-3605M-*R-193 | XOC-3605CU-*R-193 | 36mm | 5.5 | * |
XOC-3805M-*R-193 | XOC-3805CU-*R-193 | 1.50" | 5.5 | * |
XOC-5009M-*R-193 | XOC-5009CU-*R-193 | 2.00" | 9.5 | * |
* 根據客戶要求，可提供任何比例的反射。
193nm準分子反射鏡XHR/XPR型號參數：
MgF2 | 直徑(英寸) | 厚度(英寸) | 運行參數 |
0°高反射鏡 | |||
XHR-1206U-193-0 | 0.50 | 0.250 | ≥97% |
XHR-1906U-193-0 | 0.75 | 0.250 | ≥97% |
XHR-2506U-193-0 | 1.00 | 0.250 | ≥97% |
XHR-3809U-193-0 | 1.50 | 0.375 | ≥97% |
XHR-5009U-193-0 | 2.00 | 0.375 | ≥97% |
45°高反射鏡 | |||
XHR-1206U-193-45 | 0.50 | 0.250 | ≥96% |
XHR-1906U-193-45 | 0.75 | 0.250 | ≥96% |
XHR-2506U-193-45 | 1.00 | 0.250 | ≥96% |
XHR-3809U-193-45 | 1.50 | 0.375 | ≥96% |
XHR-5009U-193-45 | 2.00 | 0.375 | ≥96% |
部分反射鏡 | |||
XPR-1206U-*R-193 | 0.50 | 0.250 | * |
XPR-1906U-*R-193 | 0.75 | 0.250 | * |
XPR-2506U-*R-193 | 1.00 | 0.250 | * |
XPR-3809U-*R-193 | 1.50 | 0.375 | * |
XPR-5009U-*R-193 | 2.00 | 0.375 | * |
* 反射百分比和入射角可根據客戶要求提供
Lambda準分子激光反射鏡 輸出波長193nm
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