157-2970nm，AOI 0°至45°，LaserOptik可變衰減器AVACS

可變衰減器(Variable Attenuators，VA)：

LASEROPTIK提供的可變可變激光衰減器(Variable Attenuators，VA)是通過傾斜邊緣濾光片來改變透射率，入射角(AOI) 0°時透射率最高，AOI 0°至45°，波長范圍157-2970nm。特別是具有193nm激光衰減器LaserOptik。德國LASEROPTIK 193nm衰減器

反向可變衰減器(Inversely Variable Attenuators, IVA)：

反向可變衰減器(Inversely Variable Attenuators, IVA)工作原理與VA相同，但在AOI 0°時傳輸率低。其中，給出的公差表示傳輸中的最小調(diào)諧范圍，光束位移可以通過同時使用第二塊板或兩片濾光片來補償。若要實現(xiàn)低衰減，建議使用AR涂層第二板。

LASEROPTIK提供的自動可變衰減器控制系統(tǒng)(Automatic Variable Attenuator Control System, AVACS)由步進電機驅(qū)動，可手動控制或由計算機控制。AVACS系列衰減器包括電源、控制顯示屏、操作元件、啟動程序、限位裝置、計算機接口和水冷裝置。此外，193nm衰減器AVACS還可提供帶手動調(diào)節(jié)功能的簡易外殼，該裝置專為衰減不同波長的光束而設計，LaserOptik激光衰減器AVACS通過改變光束路徑上光學器件的角度來實現(xiàn)各種強度，其中，補償濾波片用于光束校正。光學鏡組不包括在供貨范圍內(nèi)，可從LASEROPTIK GmbH（德國加布森，30826）購買各種波長的濾光鏡片。

可以通過以下三種不同的方式進行控制：

1. 手動Manual：3個功能按鈕和自解釋顯示屏

2. 模擬Analogue：可連接0-10V直流電，即來自SPS的直流電。

3. 電腦PC：可使用隨附的Net "Software軟件進行串行接口連接。

圖1： LaserOptik可變衰減器AVACS圖示

圖2：248nm激光衰減器的透射率隨入射角變化的曲線圖

248nm Variable Attenuator激光衰減器規(guī)格：

consisting of

B-00211

VA248nm/0-45° T 90%-2%

T>90% 0-15° (depending on the production tolerance)

T<2% 45°

B-00002

AR248nm/0°

R<0.25%

S-00016

FS-LO-U 50x27x1.5mm

plane

Surface form deviations: 3/4(4) Wedge: <5'

193nm衰減器AVACS的特點：

LaserOptik激光衰減器的基底材料、波長、反射/透射率、入射角、偏振和GDD值等進行優(yōu)化，另外，還可以根據(jù)用戶的需求進行全新的設計。

LaserOptik激光衰減器的鍍膜類型Coating types參數(shù)：

圖3：PR通過AOI改變反射/透射比，通過改變AOI（例如0-45°）可以連續(xù)改變傳輸，也可作為反向可變衰減器(IVA)

德國LASEROPTIK 193nm衰減器