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離子蝕刻探針－終點檢測儀
應用：
· 終點檢測
· 靶的純度測定
· 質量控制/SPC
· 殘余氣體分析
特點：
· 高靈敏度的SIMS/MS，帶脈沖離子計數檢測器
· 離子光學透鏡、能量分析器和離子源
· 真空規和安全互鎖裝置提供過壓保護
· 軟件MASsoft通過RS232、RS485或以太網控制
· 可編程的DDE，平行數字數據I/O，RS232腳本通訊
應用：
· 終點檢測
· 靶的純度測定
· 質量控制/SPC
· 殘余氣體分析
特點：
· 高靈敏度的SIMS/MS，帶脈沖離子計數檢測器
· 離子光學透鏡、能量分析器和離子源
· 真空規和安全互鎖裝置提供過壓保護
· 軟件MASsoft通過RS232、RS485或以太網控制
· 可編程的DDE，平行數字數據I/O，RS232腳本通訊
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