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勻膠旋涂儀在選購時建議您關注的因素

閱讀:2280      發布時間:2022-11-25
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  勻膠旋涂儀具有勻膠效率高,使用方便等特點。其勻膠速度、時間分多個時段,并分別無級可調。面對眾多的品牌,在選購合適的勻膠旋涂儀時您可以關注哪些因素呢?
 
  1、旋轉速度: 轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速如果誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。
 
  2、尺寸選擇,根據尺寸的不同選擇不同大小的機型。
 
  3、材質的選擇:對于半導體化工行業的應用來說,材質的選擇尤為關鍵,大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質,因為這種材質的成本很低,不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對于較高溫度和壓力下易產生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導致旋涂時,時高時低的顛簸狀態。自然無法得到好的旋涂效果。
 

勻膠旋涂儀

 


 
  勻膠旋涂儀在勻膠過程中基片的加速度也會對膠膜的性能產生影響。因為在基片旋轉的第一階段,光刻膠就開始干燥(溶劑揮發)了。所以精確控制加速度很重要。在一些勻膠過程中,光刻膠中50%的溶劑就在勻膠過程開始的幾秒鐘內揮發掉了。在已經光刻有圖形的基片上勻膠,加速度對膠膜質量同樣起重要作用。在許多情況下,基片上已經由前面工序留下來的精細圖形。因此,在這樣的基片上穿越這些圖形均勻涂膠是重要的。勻膠過程總是對光刻膠產生離心力,而恰恰是加速度對光刻膠產生扭力(twisting force),這個扭力使光刻膠在已有圖形的周圍散開,這樣就可能以另一種方式用光刻膠覆蓋基片上有圖形的部分。
 
  所有勻膠過程中光刻膠的干燥速度不僅取決于光刻膠的自身性質(如所用溶劑體系的揮發性),而且還取決于勻膠過程中基片周圍的空氣狀況。一塊濕布在干燥有風的日子干得快,而在潮濕氣候條件下干得慢。光刻膠的干燥速度與此相似,也受周圍環境條件的影響。

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