GW28 NAGANO KEIKI長野計器NKS半導體用壓力表，面向半導體集成化進程，在半導體高純度氣體及腐蝕性氣體的氣氛等條件下也能發揮優異的性能。是對氣密性·清洗度也充分考慮被制作，半導體工藝等，特別適合高純度流體的壓力表。

GW28 NAGANO KEIKI長野計器NKS半導體用壓力表
是在工廠內完善潔浄室，半導體設備適用的壓力表
品牌：NAGANOKEIKI長野計器NKS
型號：GW28

GW28

半導體工業用壓力表

面向半導體集成化進程

在半導體高純度氣體及腐蝕性氣體的氣氛等條件下也能發揮優異的性能。

是對氣密性·清洗度也充分考慮被制作，半導體工藝等，特別適合高純度流體的壓力表。

GW28 NAGANO KEIKI長野計器NKS半導體用壓力表

特性

φ28大小的小直徑類型可幫助節省集成裝載的空間。

由于接氣部與以往C形布爾登管相比為單純的隔膜式，因此清洗和氣體沖洗容易是能做的構造。

與現有產品（小型布爾登管式）相比，接氣部內容積約為1/2，氣體滯留的死區（接氣部內容積）大幅降低。

＊選擇壓力表時，為了充分發揮性能，將壓力范圍設為常用壓力的上限在以下范圍

請選定。

定壓力時：壓力范圍Max.值的3/4以下。

變動壓力時：壓力范圍Max.值的2/3以下。

另外，請確認記載的接氣部材質符合測定流體。

詳細情況請看JIS B 7505-1。

GW28 NAGANO KEIKI長野計器NKS半導體用壓力表