隨著電氣電子設(shè)備的小型化和多功能化，儀器的零部件也不斷微型化，因此超小型高性能的半導(dǎo)體零部件和傳感器等光學(xué)元件被廣泛應(yīng)用。在微型化設(shè)備和零部件中，微米級的微小異物可能會導(dǎo)致儀器發(fā)生運(yùn)行故障。因此為了防止此類問題的發(fā)生，查明異物來源極其重要。

島津公司的異物自動(dòng)分析系統(tǒng)（紅外顯微鏡）AIM-9000 采用將微小部分作為測定目標(biāo)的光學(xué)設(shè)計(jì)，可以在短時(shí)間內(nèi)獲得微米級異物的清晰光譜。本文向您介紹使用本系統(tǒng)對光學(xué)元件表面附著的約10μm微小異物進(jìn)行測定的示例。

島津異物自動(dòng)分析系統(tǒng)（IRTracer-100 和紅外顯微鏡AIM-9000）

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