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六氟化硫（SF6）是用于電氣設備作為絕緣和滅弧的惰性氣體，主要包括SF6斷路器及GIS、SF6負荷開關設備，SF6絕緣輸電管線，SF6變壓器及SF6絕緣變電站。其中絕大部分用于中高壓設備。SF6氣體作為一種不燃燒、抗老化的新型滅弧介質和絕緣介質已經逐步取代了絕緣油。

　　六氟化硫氣體本身是一種穩定的惰性氣體，但是SF6電氣設備的穩定性和可靠性與SF6氣體的純度息息相關。這是因為SF6氣體中混有雜質，達不到規定，其滅弧性和絕緣性的要求會大大下降。（按規定SF6的氣體純度不得低于97%）其中如果含有水分，其電氣強度會下降。而在高溫等條件下，SF6氣體分解與水產生化學反應產生有害的物質，影響電氣設備正常運行，一旦泄露還會對工作人員產生危害。也多次報道由于濕度超標而引起的設備事故，會引起大面積的停電等事故，對周圍的生態環境和大氣環境造成破壞。

　　純凈的 SF6氣體無色、無味、不燃，在常溫下化學性能特別穩定，是空氣比重的 5 倍多。但在電力系統中，由于 SF6氣體主要充當絕緣和滅弧介質，在電弧及局部放 電、高溫等因素影響下，SF6氣體會進行分解。它的分解物遇水份后生成腐蝕性電解 質，尤其是某些高毒性分解物，如 SF4、S2F2、SOF2、HF、SO2等，如大量吸入人體會引起頭暈和肺水腫，甚至昏迷及死亡。

　　在相對密封的室內，由于空氣流通不暢，SF6及其分解物在室內沉積，加上 SF6 氣體無色、無味，從而對巡視、檢修人員產生極大的危害。當 GIS 產生泄漏后，SF6氣體積聚在地坪上方低層空間，造成局部缺氧，使人窒息而造成重大事故。所以需要安裝監測六氟化硫和氧氣檢測儀，保證變電設備和工作人員的安全。