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MY-718 SF6 氣體抽真空裝置技術條件:
真空泵:CUIMAN RTO/70SW羅茨真空泵 +德國LEYBOLD獨資D40C旋片泵或德國BAOSI 獨資 BSV40泵
極限真空度:0.04mbar / 4*10-4 mbar
抽速:250+40m3/h(在入氣口不小于20mm的情況下,每立方米容積抽真空時間小于15-30分鐘)
功率:3KW 380V 50Hz
進氣口:20mm,可選擇1-4路抽真空系統
元件
真空泵:2臺
數字真空計:1只
DISPLAY:0-105Pa
閥門:2-5只 DN15不銹鋼真空壓力球閥
接口、連接頭:1-4只
機架:1只
連接管道:1-4根(DN20)5-8M
控制電器:380V 50Hz
相序控制器:1套
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