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在SF6電氣設備中若SF6氣體水分含量過多，會造成水分凝結在絕緣部件表面，使絕緣強度下降，且SF6與水混合后在電弧作用下會產生有毒、有腐蝕性的物質，腐蝕電氣設備內部結構。所以規程要求進行SF6微量水分（也叫濕度）測試，確保其水分含量在要求范圍內。
下面以我公司HZQ1201型SF6高精度微水儀為例講解SF6微水測試的步驟和注意事項。
一、試驗步驟
（1）根據被試SF6設備的放氣口，選擇合適的過渡接頭，使用配置的氣管將SF6設備的放氣口與儀器的氣體入口相連，氣體出口經出氣管通下風口方向，或用專門的設備收集廢氣。
（2）接通電源，旋轉儀器面板上“保護-測量”手柄至“測量”位置，調節流量調節旋鈕，將進氣流量調節到0.6L/min左右，開始測量。
（3）由于儀器中可能尚有殘余的氣體或者濕潤的空氣，剛開始測量時濕度值（ppm）會較大，隨著SF6氣體的流入，濕度值會逐漸減小，一般經過兩三分鐘，濕度值就會穩定下來，此時的值就是SF6氣體的微水含量。
（4）測試完成后關閉儀器電源，拆下過渡接頭，拆下氣管，，將儀器面板上“保護-測量”手柄旋至“保護”位置。
二、注意事項
（1）進氣管通過配置接頭和SF6設備的螺母接頭要用扳手擰緊，必要時使用配置的生料帶在接頭螺紋上纏幾圈，確保不漏氣。
（2）調節氣體流量時，流量閥應緩慢打開，使流量指示在0.6L/min左右，流量穩定在此值測量。
（3）儀器不工作時，必須將“保護—測量”手柄旋轉至“保護”位置，否則高精度露點傳感器將暴露在高濕環境中，zui終導致傳感器失效。
（4）儀器測得的濕度單位為ppm，即μL/L，《電力設備預防性試驗規程》規定大修后的斷路器滅弧室氣室<150μL/L，其他氣室<250μL/L；運行中的斷路器滅弧室氣室<300μL/L，其他氣室<500μL/L。
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