Filmetrics R50系列提供接觸式四點探針（4PP）和非接觸式渦流（EC）測量。

R50系列電阻率測量儀

• 四點探頭和渦流探測系統

• 以矩形，線性，極性和自定義配置

• X-Y行程可達200mm

• 在導體和半導體薄膜上測量方塊電阻的范圍較大

• 接觸式和非接觸式測量

電阻率測量儀標準功能

• 具有以下功能的自動X-Y平臺:

    100mm x 100mm行程

    200mm x 200mm行程（-200型號）

• 100mm Z載物臺行程

• 傾斜臺，行程+/-5o

• 不限數量的測量樣本圖中的位置

RsMapper軟件:

測量自動化地圖模式生成器，內置的地圖模式生成器使您輕松生成需要測量的斑點圖案樣品的相關區域，從而節省了數據采集期間的時間。

這只是您可以使用的一些參數。

進行調整以自定義地圖的屬性:

• 圓形或正方形地圖

• 徑向或矩形圖案

• 中心或邊緣排除

• 點密度