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Unice交叉滾柱培林精密微調(diào)移動平臺

同向XYZ 軸交叉滾柱培林精密微調(diào)移動平臺 - 0.01mm 分厘卡頭

06TSS-3LM

Unice交叉滾柱培林精密微調(diào)移動平臺

06TSS-3RM

06TSS-3LM+3RM

* 各軸移動平臺運動方式都采用線性交叉滾柱培林。

* 線性交叉滾柱培林設計提供更大荷重量和更高度和直線性的功能。

* 和交叉滾柱培林接觸的軌道由拋光的軸承鋼材研磨制成，以確保長期使用的平滑度及性。

* 各軸都使用螺旋測微器 ( 分厘卡頭) 移動，以提供每一軸更高準確性的控制。

* 內(nèi)有一組預壓彈簧可阻抗分厘卡頭頂端以移動時消除間隙產(chǎn)生。

* Z 軸工作平面上，提供兩種不同的螺紋牙 M4 (8-32) 和 M6 (1/4-20) 使用。

* 角度偏差：各軸

在分厘卡頭所推進平臺移動時上下擺動量(pitch) <25 弧秒(arcsec)；

在分厘卡頭所推進平臺移動時左右擺動量(yaw) <15 弧秒(arcsec)。

* 3 個螺旋測微器 ( 分厘卡頭) 設計于同一方向，提供操作時方便性。

* 底板兩側(cè)有 M6 (1/4-20) 長槽孔方便固定于光學桌，面包板和其他元件上。

* 各軸移動距離 13mm。

* 螺旋測微器( 分厘卡頭) 小可讀刻度：0.01mm。

* 有左手、右手操作方式兩種選擇。

* 隨產(chǎn)品附雷射干涉儀檢驗報告。