痕量氣體在線分析儀的測試原理及典型應(yīng)用
閱讀:1551 發(fā)布時間:2021-7-8
痕量氣體在線分析儀能夠?qū)崿F(xiàn)對高純度氣體中的痕量雜質(zhì)氣體 (CO, CO2 和 CH4) 的感度連續(xù)測量。采用交替流動調(diào)制方式的非分光紅外吸收原理可以實現(xiàn)無零點漂移的長期安定的連續(xù)測量。使高純氣體中的痕量氣體檢測成為可能。典型平衡氣氣體N2,O2,He,Ar,H2和空氣。
交替流動調(diào)制方式雙光路非分光紅外吸收原理:
GA-370用一束紅外光透過檢測室射入檢測器,測量過程中通過切換電磁閥將采用氣體和參比氣體切換通入檢測室。測量樣氣和參比氣體使用相同的氣體(例如零點氣體)時,無法產(chǎn)生調(diào)制信號,因此不會產(chǎn)生漂移,解決了 痕量氣體分析中的零點漂移宜問題。而且使用雙光路檢測氣室,以相反的相位導(dǎo)入測量樣氣和參比氣體,可實現(xiàn)了長期安定穩(wěn)定運行,無需光學(xué)調(diào)整。
典型應(yīng)用:
一般情況下,作為工業(yè)用氣體使用的氧氣,氮氣是通過空氣分離來制造的。
首先將除去水分和CO2的原料空氣通入分離裝置,分離裝置時利用氮氣、氬氣和氧氣三者氣體的沸點不同進行分離出不同氣體。
氫氣和氦氣也是利用類似的氣體分離裝置制備。
GA-370測量實例。高純度氮氣、氬氣、氧氣制造行業(yè)痕量氣體的測定。
除去水分、CO2后原料氣體中痕量氣體的測量。