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技術文章

CKD喜開理PARECT電空減壓閥的

閱讀:295          發布時間:2023-1-31

本品是30mm寬的小型、輕量、高性能電空減壓閥。適合半導體、精密貼裝領域的先導減壓閥的控制、各種按壓控制、微速氣缸控制。

  • 行業


    • 半導體制造工序(后工序)

產品特點:

【提高性能,追加產品種類】
①分辨率提高 0.1%F.S.以下 → 0.05%F.S.以下
②追加壓力種類 -100kPa(負壓)、200kPa(中壓)、900kPa(高壓)

【小型】
30×39×57.1(寬×高×長)。
小型、輕量,有助于裝置的小型化。

【高精度】
通過電氣信號,高精度、高速響應地控制流體壓力。
重復性:0.3%F.S.
分辨率:0.1%F.S.
響應時間:0.1sec(無負荷)

【動作狀態采用雙色進行顯示】
采用雙色顯示動作指示器,設定壓力時,顯示為綠色,設定以外與錯誤時,顯示為紅色。

【配管、配線作業簡單】
空氣配管:采用快插接頭,電氣配線:采用M12接頭,配管、配線作業簡單。

型號名稱壓力控制范圍(MPa)配管口徑(Φ)備注
EVS2-100PARECT 電空減壓閥0.001~0.14, 6
EVS2-500PARECT 電空減壓閥0.005~0.5MPa4, 6
EVS2-10VPARECT電空減壓閥-0.0053~-0.09124,6
EVS2-200PARECT電空減壓閥0.002~0.24,6
EVS2-900PARECT 電空減壓閥0.009~0.94,6


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