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一、溫度
 　　1.溫度是影響三坐標測量機精度的最大因素。
 　　2.三坐標測量機的機房內溫度自下而上是逐漸升高的，而且溫度每時每刻又都在變化。因此每個軸的光柵溫度和零件溫度的差別就影響了測量機測量的精度。
 　　3.不合理的溫度控制方法(空調即用即開，測量機不用則關空調)，會導致測量室內溫度不穩定均衡。測量機的溫度也一直在變化，機器處于一種不穩定狀態，測量精度會很差。
 　　解決辦法及要求：
 　　在測量機軟件中可以用線性修正和溫度修正來針對現場檢定時的環境情況修正溫度影響。
 　　電氣設備，計算機等熱源應與測量機保持一定的距離。
 　　空調應盡量選擇控溫能力強的變頻空調，空調機的安裝位置應合理規劃。空調風向禁止直接吹到測量機上，由于測量室空間上下溫差的關系應將風向調至向上使空氣形成大循環，保持室內空氣溫度均衡。
 　　每天早上上班時打開空調，晚上下班時關閉空調
 　　機房要有保溫措施，房門窗應關好，減少溫度散失，避免陽光照射。
 　　加強測量室管理，不要有多余人員停留。
 　　二、三坐標測量機精度補償文件
 　　設備精度補償文件記錄用來記錄設備精度誤差數據，測量軟件是根據它來進行誤差補償的。在安裝測量機軟件時如果忘記安裝補償文件或將備份的補償文件丟失，會造成測量機測量精度差，需要重新校驗機器精度。
 　　解決辦法及要求：保管好備份補償文件并安裝好補償文件。
 　　三、測頭校正
 　　測頭校驗時，校驗球及測針的不清潔不牢固及輸入了錯誤的測針長度及標準球直徑都會使測量時軟件調用測頭補償文件時出現補償誤差或錯誤，影響測量精度。錯誤的測針長度及標準球直徑都會使測量時軟件調用測頭補償文件時出現補償誤差或錯誤，影響測量精度，甚至造成設備異常碰撞，導致損壞。
 　　解決辦法及要求：保持標準球和測針的清潔.　保證測座、測頭、測針、標準球固定牢靠。輸入正確的測針長度和標準球直徑。根據形狀誤差和校正出的寶石球直徑及重復性判斷校正的準確性(加長桿長度不同校正后的寶石球直徑會不同)。
 　　要使用不同測頭位置時，在校正完所有測頭位置后，要通過測量標準球球心點坐標的方法檢查校驗精度.在測頭、測針動過及測量精度要求比較高的情況下要對測頭進行重新校驗。
 　　四、被測零件的形狀誤差及基準
 　　1.當被測零件有明顯的毛刺或沙眼時測量的重復性就明顯變差，以至于操作員給不出準確的測量結果。
 　　2.不正確的測量基準的選擇會造成測量及計算結果誤差。
 　　三坐標測量機解決辦法及要求：選擇正確的測量基準。