三坐標測量儀是指在一個六面體的空間范圍內，能夠表現幾何形狀、長度及圓周分度等測量能力的儀器，又稱為三坐標測量機或三坐標量床。三坐標測量儀又可定義“一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號，三個軸的位移測量系統（如光柵尺）經數據處理器或計算機等計算出工件的各點（x，y，z）及各項功能測量的儀器"。三坐標測量儀的測量功能應包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等 。
三坐標測量儀使用的一些注意事項：
1、工件吊裝前，要將探針退回坐標原點，為吊裝位置預留較大的空間；工件吊裝要平穩，不可撞擊三坐標測量機任何構件。
2、正確安裝零件，安裝前確保符合零件與測量機的等溫要求，恒溫條件下，提前四個小時以上放入被測工件。
3、建立正確的坐標系，保證所建立的坐標系符合圖紙的要求，才能確保所測數據準確。
4、當編好程序自動運行時，要防止探針與工件的干涉，故需注意要增加拐點。
5、對于一些大型較重的模具、檢具，測量結束后應及時吊下工作臺，以避免工作臺長時間處于承載狀態。
6、檢測完畢后，清潔三坐標測量儀工作臺臺面。
