設備介紹
標準低溫泵 [20型]
CRYO-U20P
日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-U20P維修特點
適用于大型成膜裝置以及批量式大型成膜裝置等大型生產裝置。
外形尺寸 (單位:mm)
日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-U20P維修標準規格
排氣速度(20℃) | 氮氣 | L/s | 10,000 |
氫氣 | 18,000 | ||
氬氣 | 8,400 | ||
水 | 29,000 | ||
到達壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.1×103(8.7) |
氫氣 | 5.0×102(3.7) | ||
排氣容量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 5.8×108(4.4×106) |
氫氣 | 4.6×106(3.4×104) | ||
冷卻降下時間 | min(Hz) | 180/160(50/60) | |
吸氣口法蘭 | UVG-500 | ||
壓縮機裝置 | C30VR | ||
質量 | Kg | 69.0 | |
*維護間隔：16,000小時
標準低溫泵 [20型]
CRYO-U20H
標準規格
排氣速度(20℃) | 氮氣 | L/s | 10,000 |
氫氣 | 18,000 | ||
氬氣 | 8,400 | ||
水 | 29,000 | ||
到達壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.7×103(12.8) |
氫氣 | 5.0×102(3.7) | ||
排氣容量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 5.8×108(4.4×106) |
氫氣 | 4.6×106(3.4×104) | ||
冷卻下降時間 | min(Hz) | 160/140(50/60) | |
吸氣口法蘭 | UVG-500,20BANSI,ISO-500 | ||
壓縮機裝置 | C30PVRT | ||
質量 | Kg | 72.0 | |
*維護間隔：16,000小時
蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮江
日本愛發科標準低溫真空泵、低溫泵CRYO-U20P維修、低溫真空泵CRYO-U20H維修
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