羅茨泵
PRC 系列
羅茨泵是配合干泵、油回轉泵、水封泵等組合使用，可以提高粗制泵排氣速度低下的10kPa-0.1Pa領域的排氣速度。
PRC 系列是特別為潔凈度要求高的半導體、液晶制造使用設計的羅茨泵。可以選擇大氣驅動型。
愛發(fā)科羅茨真空泵 PRC 系列維修?
特點
- 無油
泵殼室無潤滑油，水蒸氣、溶劑等的蒸汽穩(wěn)定。 - 采用罐式馬達
采用罐式馬達、可以沒有大氣壓/真空的機械。不用擔心漏油、可以在清潔的環(huán)境中使用。 - 耐腐蝕性優(yōu)異的表面處理
主要部品表面實施了硬度高耐腐蝕性優(yōu)異的耐酸鋁處理、抑制了泵內部的腐蝕傷害。 - 排氣時間縮短有效的大氣壓驅動型（選項：變換器）
可以和粗制泵同時啟動，比標準型的排氣時間更短。愛發(fā)科羅茨真空泵 PRC 系列維修?
用途
- 蒸著、濺射、離子電鍍
- 真空干燥、凍結干燥、真空脫氣
- 分析機器、檢漏裝置
- 氣體置換、充填、真空斷熱
- 熱處理爐、溶解爐
- 其他各種真空裝置
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式樣
型式 | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | |||
| 大排氣速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 280（4670） | 500（8330） | 1000（16700） | 1500（25000） | |
| 60Hz | 330（5500） | 600（10000） | 1200（20000） | 1800（30000） | |||
| 大吸入壓力 | 50Hz | Pa | 1.2 x 103 | 1.3 x 103 | 1.2 x 103 | ||
| 60Hz | 9.3 x 102 | 1.1 x 103 | 9.3 x 102 | ||||
| 大容許壓力差 | 50Hz | Pa | 4.0 x 103 | 7.3 x 103 | 4.3 x 103 | ||
| 60Hz | 3.3 x 103 | 6.0 x 103 | 3.2 x 103 | ||||
| 到達壓力 *1 | Pa | 4.0 x 10-1 | 6.7 x 10-1 | ||||
| 驅動可能圧力 | Pa | ?1.0 x 105（大氣壓驅動型） | |||||
| 電機出力（極數） *2 | kW | 0.75（2） | 2.2（2） | 3.7（2） | 5.5（2） | ||
| 使用油 *3 | ULVOIL R-4 | ||||||
| 所要油量 | L | 0.7 | 1.5 | 1.9 | |||
| 冷卻方式 | 水冷 | ||||||
| 冷卻水 | 一時側圧力 | MPa | 0.3 | ||||
| 出入口差圧 | MPa | 0.01以上 | |||||
| 冷卻水量 | L/min | 2 | 3 | ||||
| 冷卻水溫度 *4 | ºC | 5 ? 30 | |||||
| 吸氣口徑 JIS-B-2290 | VG80相當 | VG100相當 | VG150相當 | ||||
| 排氣口徑 JIS-B-2290 | VF80相當 | VF100相當 | |||||
| 外形尺寸（W×D×H） | mm | 296×575×260 | 356×619×320 | 406×759×340 | 406×989×340 | ||
| 質量 *5 | kg | 51 | 86 | 118 | 150 | ||
| 標準輔助泵 *6 | VD601 | VD901 | VS1501 | VS2401 | |||
| 選項 | 大氣壓驅動（變換器）、潤滑油、潤滑室排氣端口 | ||||||
| 注) | 本式樣表、采用SI單位系。非SI單位系的換算請參照如下。 |
| *1 | 皮拉尼真空計測定（輔助泵、標準使用油）。麥克勞德真空計4.0×10-2Pa。 |
| *2 | AC200V（50Hz/60Hz）、AC220V（60Hz）、3相 |
| *3 | 合成油選項：R-7000、氟油：可以選擇J25F。 |
| *4 | 冷卻水溫低時、請在不結露環(huán)境下使用。 |
| *5 | 標準泵的値。（選項：包含變換器） |
| *6 | 羅茨泵的性能隨標準輔助泵的性能變化。上述數據是配合輔助泵時的值。 |
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