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激光剝蝕進樣系統一般包括高能量的激光器、聚焦激光的光學系統及相應的控制單元、樣品燒蝕室以及使產生的氣溶膠有效傳輸至等離子體的接口裝置等。高能量的激光束經過聚焦后照射在試樣表面，對試樣表面進行微區剝蝕，產生的氣溶膠和細微顆粒與從樣品室底部以切線方向引入的環繞樣品的氬氣流形成氣溶膠，從樣品室的頂部或側面引出，由連接管引至ICP炬管(去除霧化器和霧室)。激光剝蝕系統在提高空間分辨率(<10μm)、提高物質吸收率、降低分餾效應、改善測量精密度等方面都獲得重大改進。

美國CETAC的激光剝蝕產品線包括213nm固態激光系統、193nm準分子激光系統、飛秒激光系統（與ICP-MS聯用），及CO2和二極管激光熔融系統（與惰性氣體同位素質譜聯用），此外多種高性能配件與更加直觀的分析軟件能夠增強并完善系統的功能。產品廣泛用于地質、考古、材料、法醫、生化、制藥等領域，足以為元素分析用戶提供先進的激光剝蝕技術。 

Excite Pharos 飛秒激光剝蝕系統是市面上很具操作性的飛秒系統，采用結構緊湊、全密閉的工業級激光源，無需二次校準和清潔維護。系統提供多種波長可選，如1028nm、257nm、206nm，或配置多波長切換控制，相對應的能量密度為10J/cm2(1028nm)、5J/cm2(257nm)、3J/cm2(206nm)，在穩定運行情況下剝蝕穩定性RSD能達到0.1%。同時系統配備HelEx II雙體積雙氣路渦流樣品池，提供快速沖洗效率和持續的剝蝕環境。