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全反射X熒光光譜技術（TXRF）基于X熒光能譜法（EDXRF），但與能譜分析有著明顯的區別：傳統EDXRF采用原級X光束以45°角轟擊樣品，而TXRF采用毫弧度的臨界角（接近于零度角）入射。由于采用此種近于切線方向的入射角，原級X光束幾乎可以全部被反射，照射在樣品表面后，盡可能上避免樣品載體吸收光束和減小散射的發生，同時減小了載體的背景和噪聲，亦可減少樣品使用量。

與原子吸收及發射光譜方法相比，TXRF具有如下優勢：

1、無需復雜的樣品前處理過程，原子吸收或ICP的樣品前處理占據了整個分析過程的絕大部分時間，通常耗時幾個小時甚至幾天，同時TXRF能有效避免前處理引入的誤差；

2、對于易揮發元素有良好檢測效果，如Hg/As/Se在消解過程中會損失，Cl/Br/I等ICP檢測效果較差；

3、檢測元素種類更多，可達80余種, 元素分析范圍從Na覆蓋到U；

4、檢出限更低，多數元素在ppt級，尤其Pb/Rh等元素，而原子吸收或ICP為ppb級。

 

與ICP-MS方法相比，兩者檢出限基本持平，但TXRF可以無視ICP-MS如下痛點：

1、ICP-MS的耐鹽度較差，分析高鹽分樣品時檢出限差（S/Ca/Fe/K/Se等），同時酸基體對于測量影響顯著，如鹽酸、高氯酸、磷酸、硫酸會引起質譜干擾；

2、ICP-MS根據質核比檢測元素，當存在同質異位素時，很難的完成檢測；

3、ICP-MS需要超凈實驗室，造價昂貴；

4、ICP-MS運行成本高，取樣錐、渦輪泵、檢測器為易損件。