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PicoFemto掃描電鏡原位液體-電化學測量系統(tǒng)采用全新的O圈輔助密封設計，攻克了以往原位液體解決方案裝樣困難的問題。實驗中，樣品被密封在超薄氮化硅薄膜覆蓋的液體池內(nèi)，池內(nèi)可以承載一個大氣壓。芯片電極聯(lián)通外接電路，從而在掃描電鏡中搭建一個液體-電化學測試環(huán)境。

• 性能指標：

△ 兼容型號SEM；

△ 保證SEM真空度；

△ 液體池間隔層厚度最小100 nm；

△ 液體池內(nèi)可載入氣體或液體，池內(nèi)可承載1個大氣壓，池外滿足電鏡真空要求；

△ 電壓輸出最大±200 V，最小分辨率±100 nV；

△ 電流測量最大±1.5 A，最小分辨率±100 fA；

△ 恒壓或者恒流模式；

△ 自動電流-電壓（I-V）測量、電流-時間（I-t）測量，自動保存。 

• 經(jīng)典案例