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常用的PM2.5檢測方法有三種：重量法、β射線吸收法和微量振蕩天平法。本文主要介紹微量振蕩天平法。

微量振蕩天平法（TEOM）是在質量傳感器內使用一個振蕩空心錐形管，在其振蕩端安裝可更換的濾膜，振蕩頻率取決于錐形管特征和其質量。當采樣氣流通 過濾膜，其中的顆粒物沉積在濾膜上，濾膜的質量變化導致振蕩頻率的變化，通過振蕩頻率變化計算出沉積在濾膜上顆粒物的質量，再根據流量、現場環境溫度和氣壓計算出該時段顆粒物標志的質量濃度。

微量振蕩天平法顆粒物監測儀由PM10采樣頭、PM2.5切割器、濾膜動態測量系統、采樣泵和儀器主機組成。流量為1m3/h環境空氣樣品經過 PM10采樣頭和PM2.5切割器后，成為符合技術要求的顆粒物樣品氣體。樣品隨后進入配置有濾膜動態測量系統（FDMS）的微量振蕩天平法監測儀主機， 在主機中測量樣品質量的微量振蕩天平傳感器主要部件是一支一端固定，另一端裝有濾膜的空心錐形管，樣品氣流通過濾膜，顆粒物被收集在濾膜上。在工作時空心錐形管是處于往復振蕩的狀態，它的振蕩頻率會隨著濾膜上收集的顆粒物的質量變化發生變化，儀器通過準確測量頻率的變化得到采集到的顆粒物質量，然后根據收 集這些顆粒物時采集的樣品體積計算得出樣品的濃度。