Thermo Scientific ™ Prisma ™ E SEM 結合了全面的成像性能和*的環境模式，同時兼容廣泛的硬件和軟件選型，可滿足多用戶實驗室的綜合應用需求。Prisma E SEM 的三種真空模式（高真空、低真空和 ESEM™）使得系統靈活性，可以容納任何 SEM 可用的泛的樣品類型，包括放氣的、未鍍導電膜的或者是與真空狀態不相容的樣品。

多種檢測器選項（定向背散射探測器、STEM、陰極熒光探測器等）提供了所有必要的樣品信息。探測器信號同步采集和顯示，可以在短的時間內提供答案。此外，ESEM可以在現實條件下對樣品進行原位研究，例如在濕潤、高溫、潮濕或反應性環境中的樣品觀察。 Prisma E SEM 還包括一系列軟件集成的原位實驗臺，用于執行和控制動態實驗。分析樣品倉可以滿足日益增長的樣品元素信息及晶體結 構分析需求，它同時支持相對的雙能譜（EDS）探測器、共面能 譜（EDS） /電子背散射衍射（EBSD）和平行束波譜（WDS） 探測器。支持掃描預設、便捷的相機導航和Thermo ScientificSmartSCAN™，更進一步提升了生產力、數據質量和易用性。對于日常工作，Prisma E SEM可以使用強大的基于Python的腳本工具Autoscript自動執行。

 

產品特點

• 在自然狀態下對材料進行原位研究：在各種操作模式下分析導電和不導電樣品， 同步獲取二次電子像和背散射電子像。

• 縮短樣品制備時間：低真空和環境真空技術可針對不導電和/或含水樣品直接成像和分析，樣品表面無荷電累積。

• 觀察所有樣品獲取全面的信息，在每種操作模式下均可同時進行SE和BSE成像。

• 原位分析配置專門的原位實驗臺，溫度范圍從-165℃到1400℃。

• 分析功能：大樣品倉可安裝3個EDS 探測器、WDS和共面EDS/EBSD，其中兩個EDS端口為180°正對。

• 不導電樣品分析功能：借助多級穿過透鏡的真空系統，實現低真空下的高質量EDS 和 EBSD 分析。

• 高精度優中心樣品臺，105°傾斜角度范圍，觀察樣品。

• 軟件直觀、簡便易用，配置用戶向導及 Undo（撤銷）功能，新手用戶可進行高效操作，專家用戶也可進行更少的操作，完成快速分析。

• 廣泛的配置選項，包括可伸縮的RGB CL陰極熒光探測器、1100℃ 高真空熱臺、μHeater 和Autoscript（基于Python的腳本工具API）。

 

參數

電子束

• 高真空成像

- 30 keV下 3.0 nm （SE）

- 30 keV下 4.0 nm（BSE）*

- 3 keV下 8.0 nm （SE）

• 高真空下，電子束減速模式

- 3 keV下7.0 nm （電子束減速模式* + DBS*）

• 低真空成像

- 30 keV下 3.0 nm （SE）

- 30 keV下 4.0 nm（BSE）

- 3 keV下 10.0 nm （SE）

• ESEM

- 30 keV下 3.0 nm （SE）

• 電子束流范圍：大 2 μA，連續可調

• 加速電壓范圍：200 V - 30 kV

• 放大倍數 ：6 – 1,000,000 倍

樣品倉

• 內寬：340 mm

• 分析工作距離：10 mm

• 端口：12

• EDS 出射角：35°

• 可同時安裝三個 EDS 探測器，其中兩個處于180°

• 共面 EDS/EBSD ，與樣品臺傾斜軸垂直設定了預配置方法包括自定義方法和數據導出功能的用戶友好軟件

• 通用 9 針電氣接口

真空系統

• 1個250 升/秒渦輪分子泵（TMP）

• “穿過透鏡”的壓差真空系統

• 電子束在氣體區域的行程（BGPL）：10 mm 或 2 mm

• 典型換樣時間：高真空模式 ≤ 3.5 分鐘；環境真空模式≤4.5 分鐘

• 可選 CryoCleaner 冷阱

• 可選升級成無油機械泵（PVP）

產品料號	產品貨號	*產品名稱	*產品規格
TFE000047	TFE000047	Prisma E 掃描電鏡	Prisma E