激光光譜原位分析儀(LIBSOPA-100)是激光誘導擊穿光譜分析技術（LIBS）和原位統計分布分析技術（OPA）結合的新型分析儀器。激光誘導擊穿光譜原位統計分布分析技術(LIBSOPA)通過高能激光聚焦于樣品表面，樣品被擊穿形成高溫等離子體，通過檢測等離子體光譜信號，獲得樣品的成分及元素分布信息的技術。

其分析原理是：樣品表面被高能激光擊穿形成等離子體，等離子體光線經過濾波,分光之后被多通道的光電倍增管檢測系統檢測。根據光譜特征譜線波長得出被擊穿位點的元素種類;定標后對應譜線的強度表示被擊穿位點元素的濃度。借助精密三維移動平臺在樣品激發表面很好的定位和記錄，實現任意點掃描，一維線性掃描，一維深度分析和二維面掃描分析，并據此獲得與材料原位置相對應的各元素原始含量及狀態信息，可以用統計解析的方法定量表征材料的偏析度、疏松度等信息。該方法不但有激光光譜的非接觸分析，微區分析，深度分析的優點，又具備原位統計分布分析技術的原位性和統計性。

LIBSOPA-100激光光譜原位分析儀的研制成功為材料成分分析，缺陷分析，涂鍍層等樣品的分析應用提供了新的技術手段及質量判據。具有以下特點：

1.  *LIBS技術與OPA技術結合的新型分析儀器，多項技術。

2.  多元素同時分析。28個元素通道，包含C,P,S元素，線性關系良好；

3.  預剝蝕時間，積分時間，門控延遲時間動態可調。

4.  分析簡便、快速，無前處理過程，避免樣品被污染；

5.  分析不受樣品尺寸，狀態，導電性，難熔與否的影響；

6.  LIBS具有高靈敏度與高空間分辨率，非常適合涂層材料、薄膜材料分析；

7.  微小燒蝕光斑可進行局部微區分析，表面微損分析，適合材料缺陷分析；

8.  非接觸測量，響應迅速，分析時間短，可滿足實時分析以及在線分析的要求。