您好, 歡迎來到化工儀器網
| 產地類別 | 進口 |
|---|
產品簡介
詳細介紹
OAI INSTRUMENTS是業內生產可靠并精密設備的MEMS，半導體，納米技術，潔凈室自動化和紫外線光測量的優秀制造商。OAI系統可同時用于研發和生產半導體，MEMS和微流體裝置。從光罩對準和UV光源UV電力儀表，OAI是在同行業中的*者超過35年。OAI光功率計以其測量精度，重復性著稱，測量數據符合美國NIST標準，廣泛應用于半導體光刻能量測量及控制。OAI INSTRUMENTS光刻機
OAI INSTRUMENTS光刻機產品范圍：
美國OAI INSTRUMENTS曝光機、OAI INSTRUMENTS光刻機、OAI INSTRUMENTS光源、OAI INSTRUMENTS、OAI INSTRUMENTS光功率計、OAI INSTRUMENTS分析儀
主要型號：
Model 306、Model 308、Model 311、Model 316、Model 317、Model 356、Model 357、Model 358、Model 457、Model 458、Model 459
美國OAI INSTRUMENTS Model 800半自動光刻機簡介：
光刻方式：接近式，軟，硬，真空接觸式
曝光距離：0-3000μm
間隙調節步進：1um
機械精度：1.5um
光刻精度：軟接觸2um,硬接觸小于1um
美國OAI INSTRUMENTS Model 6000全自動光刻機技術規格：
光刻方式：接近式，軟，硬，真空接觸式
基底尺寸：2-12寸晶圓或者最大200mm方形
曝光分辨率：
真空接觸:0.5-0.8um
硬接觸:0.8-1.0um
軟接觸:1.0-3.0um
接近式(20um 間隙):3.0um
曝光均勻性：優于±3%
對準精度：頂面0.5um，底面1.0um（選件）
產量：180片/小時最大
天津賽力斯自動化科技有限公司是一家集研發、工程、銷售、技術服務于一體的現代化企業，是國內自動化領域競爭力的設備供應商。公司主要經營歐美和日韓 等發達國家的機電一體化設備、高精度分析檢測儀器、環境與新能源工業設備及電動工具等工控自動化產品。 憑借專業的技術與商務團隊， 公司在為客戶帶來優質產品的同時還可提供自動化工程技術服務及成套解決方案。