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微波等離子清洗機有哪些用途?

閱讀:656        發布時間:2023-12-29
封裝的質量直接影響到電子元器件的可靠性和使用壽命。在微電子封裝的生產過程中,由于接觸、溶劑揮發、自然氧化等都可能會造成芯片、鍵合指或外殼焊環表面形成各種沾污。
 
微波等離子清洗機是一種利用微波和等離子技術進行清洗的設備。它通過產生微波能量,并將其引入封閉的清洗室中,使液體在高溫和壓力下形成等離子體。這些等離子體具有強大的清洗能力,可以有效去除污垢、油脂、細菌和病毒等各種表面污染物。
 
微波等離子清洗機用途:
1、清潔金屬接合焊盤;
2、改善晶片鍵合附著力;
3、晶片凸點之前清除污染;
4、去除氟和其他鹵素污染;
 
原理:
微波是因為電源頻率,分別是直流、低頻40KHz、射頻13.56MHz及本文介紹的微波2.45GHz。
利用微波源振蕩產生的高頻交變電磁場將氧、氬、氫等工藝氣體電離,生成等離子體,活性等離子體對被清洗物進行表面處理,達到表面清潔活化的目的。

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