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如何對薄膜沉積控制儀做標準化的日常維護
如何對薄膜沉積控制儀做標準化的日常維護？
薄膜沉積控制儀安裝時注意保持水平位置，對薄膜沉積控制儀與地基的結合面和出風管的聯接等，應調整使之自然吻合不得有強行聯接，不允許將管道重量加在薄膜沉積控制儀的部件上。
薄膜沉積控制儀時應對各部件進行全面檢查，機件是否完整，各部件聯接是否緊固。薄膜沉積控制儀在運轉時如發現有劇烈的振動撞擊等反常現象必須立即停車檢查。薄膜沉積控制儀在露天使用應有防雨措施。按期清除薄膜沉積控制儀內部積灰、污垢等雜質，并防止銹蝕。
以上內容就是薄膜沉積控制儀在日常維護中標準化的流程，希望大家可以了解更多。