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東莞比其爾真空機電設備有限公司
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產品簡介
| 泵軸位置 | 邊立式 | 輸送介質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數目 | 其他 | 應用領域 | 電子 |
產品介紹
半導體愛德華干式真空泵維修IH80/IH160
Edwards高級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽
命、提高運行時間并提高生產率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現了可靠性和性能。
iH 系列為難以執行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供
了高可靠性。
功能和優勢:
優化了設施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
在節省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機聯結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降
低了總體占地面積。
技術參數：
極限真空1 x 10-2 mbar / 7.5 x 10-3 Torr / 1 Pa
進氣口連接：ISO63
出口連接：NW40
重量：244 kg
極限功率輸入：3.1 kW
電機額定功率：5.0 kW
1、確認問題（如有需要，會在24小時內派出專業技術人員趕赴現場確認真空泵故障）
2、故障原因（比其爾確認故障原因后，擬定出具體維修方案與周期、甲乙兩方簽定協議后，甲方
安排人員上門提泵，針對珠三角地區客戶）
3、真空泵拆開報價（為了讓客戶更清晰的知道維修費用，比其爾會給出詳細的維修清單及費用）
4、確認維修（客戶同意維修費用后開始維修，維修配件為原裝正品，維修后所換配件全部還客
戶）
5、試機確認（確保維修過后達到的真空度和穩定性能，真空度達到出廠標準）
6、送泵安裝（在試機OK后24小時內，客戶可當初驗收真空泵，看試機運轉效果）
7、定期回訪（比其爾承諾，維修保修服務；統一質保修6個月）
半導體愛德華干式真空泵維修IH80/IH160
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