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KASHIYAMA SDL12E50-901 真空泵
規格
| 型號 | SDL12E50-901 |
| 極限壓力 | 0.8 Pa |
| 吸氣口法蘭 | MF160 |
| 排氣口法蘭 | NW50 |
| 電源 | ：3 相 AC200～220V（50/60 Hz）11.2kW（17.7kVA） |
構成
| 螺桿型干式真空泵（SD500L） | 一臺 |
| 機械增壓泵（KMB1203E-901） | 一臺 |
| 消聲器（SR-48） | 一臺 |
| 消聲器（SR-49） | 一臺 |
| 電氣設備箱（系統控制箱） | 一臺 |
| 真空泵 | 一臺 |
| 機柜 | 一臺 |
KASHIYAMA SDL12E50-901 真空泵
供能設施
| 電源 | 3 相 AC200～220V（50/60 Hz）11.2kW（17.7kVA） |
| SD500L | 7.5W（13.2kVA） |
| KMB1203E -901 | 3.7kW（4.5kVA） |
| 冷卻水 | 6-8 升/分，5~25℃ |
| 連接 | 1/2" 管件（帶自密封連接器） |
| 最大供水壓力（表壓） | 0.5 Mpa |
| 氮氣凈化氣體 | 0~50 SLM |
| 氮氣凈化氣體供氣壓力 | 0.1~0.7 MPa |
| 連接 | 3/8"管件（帶閥門） |
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