| 項目/模型 | SDE60N20 |
| 泵組成 | SDE200+MSB6004 |
| *1 最大泵速50/60Hz[L/min] | 100,000 |
| *1 極限壓力[Pa] | 0.5 |
| 最大入口壓力[Pa] | 大氣壓力 |
| Flange Dia. | 進 | NW200 |
| 出 | NW40 |
| 冷卻水 | 最大壓力 | 0.5 MPa (Gauge Pressure) |
必要最小值 (入口-出口) | 0.3 MPa |
| 流量體積 | 4 to 8 L/min |
| 溫度 | 10至25攝氏度 |
| Flange Dia | RC 3/8“(帶耦合器) |
| *2 氮 | 供應壓力 | 0.1 |
規(guī)則壓力 | 0.1 |
流量體積 | 0 |
| Flange Dia | Pipe fitting 1/4" |
| 導管 | 壓強 | 大氣壓 |
流 | 0.5 |
| Flange Dia | 100 |
電動力 | 進入動力 | 3PH *3 允許電壓變化土 |
電容量 | 14.0 |
連接器 | Han®100A Module male 09 14 002 2651 HARTING |
| 控制 | 最大負載電流 | 1 A/ point |
| 連接器 | DB-25PF-N Japan Aviation Electronics Ind,Ltd. |
| 潤滑油 | 類型 | Fluorine oil |
| 體積 [L] | DP:0.7 /MB:0.6 |
| Approx. Weight lkg] | 760 |
*1） 在沒有吹掃氣體的情況下。
*2） 抽真空腐蝕性氣體等時需要氮氣。
該圖為密封和稀釋所需的總吹掃體積。
*3） 電壓的最大允許波動，而不是正常電壓的范圍。
5