KASHIYAMA MU100X/MU100XN 真空泵
| 項目/模型 | MU100X | MU100XN |
| 泵組成 | MU100X | MU100XN |
| *1 最大泵速50/60Hz[L/min] | 1660 |
| *1 極限壓力[Pa] | 1.5 |
| 最大入口壓力[Pa] | 大氣壓力 |
| 最大允許排氣壓力 | 3 or less |
| Flange Dia. | 進 | NW50 |
| 出 | NW25 |
| 電機額定輸出 | 2.2 |
| 加速時間 | 大約10 |
| 減速時間 | 大約5 |
| 冷卻水 | 最大壓力 | 0.5 MPa (Gauge Pressure) |
必要最小值 (入口-出口) | 0.2 MPa |
| 流量體積 | 1.5 to 3.0 L/min or 更多 |
| 溫度 | 10至25攝氏度 |
| Flange Dia | RC 3/8“(帶耦合器) |
| *2 氮 | 供應壓力 | / | 0.1 |
規則壓力 | / | 0.04 |
流量體積 | / | 5SLM[設置時]
0.05MPa（表壓）] |
| Flange Dia | / | Pipe fitting 1/4" |
電動力 | 進入動力 | 3PH *3 允許電壓變化土 |
電容量 | 3.8千伏安 |
運行電流 | 2.0 to 10.8A |
| 控制 | 最大負載電流 | 1 A/ point |
| 連接器 | DB-25PF-N Japan Aviation Electronics Ind,Ltd. |
| 潤滑油 | 類型 | Fluorine oil |
| 體積 [L] | 0.1 |
| Approx. Weight [kg] | 60 |
*1） 在沒有吹掃氣體的情況下。
*2） 抽真空腐蝕性氣體等時需要氮氣。
該圖為密封和稀釋所需的總吹掃體積。
*3） 電壓的最大允許波動，而不是正常電壓的范圍。
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